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宋涵

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

主题

  • 2篇碳化硅
  • 2篇线切割
  • 2篇晶圆
  • 2篇聚乙二醇
  • 2篇硅晶
  • 2篇硅晶圆
  • 2篇二醇
  • 2篇废砂
  • 1篇悬浮液
  • 1篇回收

机构

  • 2篇西安交通大学

作者

  • 2篇宋涵
  • 1篇奚西峰

年份

  • 2篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收
宋涵
关键词：硅晶圆线切割聚乙二醇碳化硅
一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法
本发明涉及硅晶圆线切割领域，公开了一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅回收利用的方法，它将单晶硅片加工工艺中的线切割废砂浆先添加降黏剂，进行固液分离得到悬浮液部分和固体颗粒部分。对于悬浮液部分添加助滤剂，然后板框压滤...
奚西峰宋涵
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