孙锋
- 作品数:4 被引量:30H指数:4
- 供职机构:空军工程学院更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术机械工程医药卫生理学更多>>
- 光纤频谱仪测试膜厚的新技术研究被引量:6
- 2003年
- 在“Y”型光纤一个端面上垂直放置涂有透明薄膜的玻璃片 ,入射光在薄膜层的上下表面处两次反射 ,由于光程差的存在 ,反射光会发生干涉。不需要测量干涉条纹 ,根据 Fresnel反射定律 ,仅通过对反射光谱的分析计算 ,可以测出薄膜的厚度以及折射率。该方法测量精度高、速度快、对薄膜无破坏作用。膜厚测量范围为 0 .5至几十微米 ,测量误差小于 7nm。
- 孙艳孙锋杨玉孝谭玉山
- 关键词:厚度测量光程差
- 一种新的膜厚测试技术被引量:6
- 2002年
- 在“Y”型光纤一个端面上垂直放置涂有透明薄膜的基片 ,入射光在光纤—薄膜层—空气的界面处两次反射 ,由于两束反射光之间存在光程差 ,所以反射光发生干涉。不需要测量干涉条纹 ,仅通过对反射光谱的分析计算 ,可以测出薄膜的厚度以及折射率的数值。在单晶硅基片上做非晶的PSiO2 膜的甩膜实验中使用该方法测试PSiO2 膜的厚度 ,实验证明 ,该方法测量精度高、速度快 ,对薄膜无破坏作用。用卤素白光和红光的准单色光( 60 0nm~ 860nm)作为光源 ,膜厚范围为 0 5到几十微米 ,测量误差小于 4 0nm。进行了实验验证 。
- 孙艳孙锋杨玉孝谭玉山
- 关键词:光纤频谱光程差膜厚测试技术
- 光学免疫传感器技术与应用被引量:8
- 2002年
- 较为系统地介绍了光学免疫传感器技术及应用。给出了光学免疫传感器的传感器原理和分类方法。与传统的免疫传感器对照 ,介绍了光学免疫传感器的特点和优势所在。着重介绍了几种重要和常用的光学免疫传感器 ,夹层光纤传感器、位移光纤传感器、表面等离子体共振传感器、光栅生物传感器、法布里 -波罗脱生物传感器、直接感应光纤生物传感器等。给出了它们的传感器结构和检测机理 ,以及它们在实际中的大量应用实例。最后介绍了光学免疫传感器的发展趋势。
- 孙艳孙锋杨玉孝谭玉山
- 关键词:抗原抗体生物传感器
- 用于纳米生物膜层厚度测试的光纤生物传感器被引量:12
- 2002年
- 研制出光纤感应生物传感器 ,用以测试 nm级的生物膜层的厚度 .给出了测试的实现过程、实验结果和提高信噪比的方法 ,并与表面等离子体共振 ( SPR)
- 孙艳孙锋杨玉孝谭玉山
- 关键词:光纤生物传感器抗原