刘静
- 作品数:3 被引量:21H指数:2
- 供职机构:大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金广东省教育部产学研结合项目大连市科技计划项目更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术机械工程化学工程更多>>
- 硅片预对准机器人边缘信息采集处理方法被引量:2
- 2008年
- 针对90 nm工艺、300 mm直径大尺寸硅片对制造设备的新要求,提出一种硅片边缘信息采集、处理方法,并在此基础上建立硅片预对准机器人视觉系统。该方法在小波阈值折衷去噪的基础上,利用最小二乘回归拟合和坐标加权平均的数值方法,通过对硅片边缘特征点的标定、过滤、综合和提取,有效地实现CCD采集信号向特征位置数据的转换,解决大尺寸硅片位置信息的获取和分析问题。重复定位精度测量试验结果表明,硅片预对准机器人视觉系统完成了硅片中心、缺口的检测定位,硅片预对准机器人对准精度达到了技术指标的要求,提高了整套硅片预对准系统的工作性能。
- 丛明孔祥吉刘静杜宇
- 关键词:视觉系统
- FPD玻璃基板搬运机器人研究被引量:3
- 2008年
- 本文综述玻璃基板搬运机器人的发展历史,分析玻璃基板搬运机器人的典型结构,介绍玻璃基板搬运机器人的研究成果,探讨玻璃基板搬运机器人的研究方法。
- 丛明徐晓飞刘静石会立崔冬梅
- 关键词:平板显示搬运机器人玻璃基板
- 复杂弧面分度凸轮精确建模的新方法被引量:16
- 2009年
- 针对复杂弧面分度凸轮精确建模困难、制造难度大的实际情况,基于逆向思维提出一种对弧面分度凸轮进行精确建模的新方法。应用共轭曲面原理、微分几何学和坐标变换原理获得弧面分度凸轮的理论轮廓曲面方程;分析了新方法的建模原理,结合分度盘运动规律,在凸轮毛坯模型上建立了理论轮廓曲面,对其进行法向偏置、实体切除操作得到工作轮廓曲面,获得精确的凸轮模型。基于Pro/E软件,给出了用于数控加工中心自动换刀装置中的多头复杂弧面分度凸轮的建模实例,并进行了运动仿真分析,结果满足设计要求,验证了该方法的正确性和可行性。
- 丛明刘静李全普
- 关键词:弧面分度凸轮自动换刀装置运动仿真