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刘军芳

作品数：2 被引量：9H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学机电工程学院更多>>
相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇压电
  • 2篇压电驱动
  • 2篇压电驱动器
  • 2篇压电陶瓷
  • 2篇驱动器
  • 2篇微机电系统
  • 2篇微驱动
  • 2篇微驱动器
  • 2篇机电系统
  • 2篇电系统
  • 1篇抗干扰
  • 1篇抗干扰能力

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...

作者

  • 2篇张东华
  • 2篇刘军芳
  • 2篇陈在礼
  • 2篇陈维山

传媒

  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇中国仪器仪表...

年份

  • 2篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
微机电系统用压电驱动器的发展及应用被引量：9
2006年
微驱动器是微机电系统运行的关键,压电驱动器作为新的驱动元件在这一领域迅速发展起来。它具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单。本文介绍了微机电系统、压电驱动器的概念,并对国外微机电系统中压电驱动器的发展及应用情况进行了详细、全面的介绍,同时指出了压电驱动器研究领域需深入探讨的关键技术。
张东华陈维山刘军芳陈在礼
关键词：微机电系统微驱动器压电陶瓷压电驱动器
微机电系统用压电驱动器的发展及应用
微驱动器是微机电系统运行的关键,压电驱动器作为新的驱动元件在这一领域迅速发展起来.它具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单.本文介绍了微机电系统、压电驱动器的概念,并对国外微机电系统中压电驱动器的发展及应用...
张东华陈维山刘军芳陈在礼
关键词：微机电系统微驱动器压电陶瓷压电驱动器抗干扰能力
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