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丁衡高

作品数：20 被引量：142H指数：6
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国防科技技术预先研究基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：机械工程航空宇航科学技术交通运输工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇期刊文章
  • 9篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇机械工程
  • 4篇航空宇航科学...
  • 2篇交通运输工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 8篇感器
  • 8篇传感
  • 8篇传感器
  • 7篇陀螺
  • 6篇速度传感器
  • 5篇微喷
  • 5篇流体惯性
  • 5篇角速度
  • 5篇角速度传感器
  • 4篇热敏元件
  • 4篇陀螺仪
  • 4篇加速度
  • 4篇加速度计
  • 3篇心体
  • 3篇体腔
  • 3篇气流管道
  • 3篇微机电系统
  • 3篇机电系统
  • 3篇电系统
  • 2篇电阻网络

机构

  • 14篇清华大学
  • 6篇东南大学
  • 1篇学研究院

作者

  • 20篇丁衡高
  • 6篇苏岩
  • 5篇朱荣
  • 5篇陈建元
  • 3篇马新宇
  • 3篇董景新
  • 3篇张斌
  • 3篇许康平
  • 2篇章燕申
  • 2篇蔡嵩林
  • 2篇袁光
  • 2篇潘珍吾
  • 2篇高钟毓
  • 1篇朱俊华
  • 1篇王寿荣
  • 1篇裘安萍
  • 1篇万德钧
  • 1篇胡朝阳
  • 1篇周百令
  • 1篇黄庆安

传媒

  • 5篇清华大学学报...
  • 2篇中国惯性技术...
  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇中国惯性技术...

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2012
  • 1篇2009
  • 2篇2008
  • 2篇2007
  • 4篇2006
  • 1篇2001
  • 1篇2000
  • 4篇1999
  • 1篇1998
  • 1篇1997
  • 1篇1996
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种微型热驱动气流陀螺及其制作方法
本发明涉及一种微型角速度传感器，特别是涉及一种微型热驱动气流陀螺。本发明包括微腔体、三根加热元件、两对热敏元件、检测电路和控制电路模块构成；微腔体高度为100微米～1000微米；加热元件和热敏元件悬固在微腔体的中部，加热...
朱荣蔡嵩林丁衡高
微槽道流体角速率传感器
本发明涉及的微槽道流体角速率传感器，包括一个封闭的腔体，腔体分上、下两部分，上腔体的顶部为周边固定支撑的驱动薄膜，下腔体由内槽、外环槽以及连通内外槽的两两对称分布的若干个通槽组成，各通槽为小内口和大外口结构；所说驱动薄膜...
丁衡高朱荣
文献传递
一种微型热驱动气流陀螺及其制作方法
本发明涉及一种微型角速度传感器，特别是涉及一种微型热驱动气流陀螺。本发明包括微腔体、三根加热元件、两对热敏元件、检测电路和控制电路模块构成；微腔体高度为100微米～1000微米；加热元件和热敏元件悬固在微腔体的中部，加热...
朱荣蔡嵩林丁衡高
文献传递
微型惯性测量组合的关键技术被引量：6
1996年
采用微米／纳米技术的微型惯性测量组合具有低成本、长寿命和高可靠性等优点，本文论述了国外这项技术的发展动向，提出了微硅及微型光学惯性器件关键技术的研究任务。
丁衡高章燕申马新宇张斌
关键词：零偏稳定性加速度计品质因数声光移频器
微射流陀螺仪射流速度控制装置
微射流陀螺仪射流速度控制装置涉及一种微喷微流体惯性角速度传感器中，在微小尺寸范围内的微射流陀螺仪射流速度控制，该装置中桥路电阻网络(1)的输入端接微气流(10)的输出信号，桥路电阻网络的输出有两路，其中一路与差动放大器(...
苏岩陈建元丁衡高
文献传递
一种微型隧道效应磁强计的设计被引量：1
2000年
隧道效应传感器是一种灵敏度很高的位移传感器 ,其原理已经被用于微加速度计和红外传感器的设计。文中介绍了基于这一原理的微型磁强计 ,对传感器的固有频率和驱动电压进行了分析和计算。
朱俊华丁衡高叶雄英
关键词：MEMS
微机电系统的科学研究与技术开发被引量：62
1997年
着重论述了当前国际上微机电系统的相关基础理论研究、微机电系统制造工艺技术的发展、微机电系统发展动态与趋势，最后强调了探索适合我国国情的微机电系统发展途径的重要性。
丁衡高
关键词：微机械
一种体加工的叉指式微机械加速度计
该文讨论一种平面叉指式加速度计的结构设计、有限元仿真、加工工艺，着重研究了压膜阻尼的一种数学简化模型，并对叉指结构进行了数值计算。研究了摆片尺寸、极板间隙以及频率和外界环境压力对阻尼的影响。给出了在当前工艺条件下进一步优...
袁光丁衡高高钟毓董景新王永梁
关键词：加速度计有限元仿真
文献传递
微槽道流体角速率传感器
本发明涉及的微槽道流体角速率传感器，包括一个封闭的腔体，腔体分上、下两部分，上腔体的顶部为周边固定支撑的驱动薄膜，下腔体由内槽、外环槽以及连通内外槽的两两对称分布的若干个通槽组成，各通槽为小内口和大外口结构；所说驱动薄膜...
丁衡高朱荣
文献传递
集成光学角速度传感器系统方案的研究被引量：12
1999年
本文研究了谐振型和干涉型两类集成光学角速度传器（Ｒ－ ＩＯＲＳ 和Ｉ－ ＩＯＲＳ） 的系统方案，设计了两种Ｒ－ ＩＯＲＳ 的光纤仿真实验装置：反射式和透射式，并介绍了对它们的实验研究结果。文中还提出了一种再入式Ｉ－ ＩＯＲＳ的系统方案，并进行了理论分析。
丁衡高伍晓明马新宇胡朝阳张斌章燕申
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共2页<12>
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