郑天水
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- 真空镀膜与LB薄膜技术相结合制备多层膜软X光反射镜
- 1991年
- X光光学近年来有极大的发展,其重要原因是多层膜软X光反射镜的研制成功。这种反射镜,一般用物理汽相淀积方法蒸镀无机材料而得的多层结构。我们采用真空镀膜与LB薄膜技术相结合的方法成功地制备了一些无机材料与有机材料交替的多层结构,证明了它们具有厚度精确易控、吸收少、界面光滑及反射率高等优点。
- 郑天水刘丽英邢中菁沈元华
- 关键词：LB真空镀膜无机材料光反射单分子膜
- 镍—碳多层膜软X光反射镜的一种设计
- 1989年
- 本文介绍了Ni—C多层膜软x光反射镜设计与计算的一种方法,并分析了提高反射率的有关因素。
- 柯谷青郑天水沈元华
- 关键词：反射镜
- 用于软X光反射镜的Ni/C、Mo/Si多层膜的制备
- 1990年
- 本文介绍了用石英晶体振荡膜厚速率监控法,制备用于软X光反射镜的Ni/C、Mo/Si多层膜的工艺过程。制备了一系列周期厚度45—75(?),层数多至50层的多层膜样品,并利用X光小角衍射(Cu kα线:1.54(?))、俄歇电子能谱(AES)、透射电子显微镜(TEM),测试和分析它们的周期结构、界面状况、膜层内各元素包括杂质的成分分布,最后对所设计的Mo/Si膜系做了软X光反射特性的理论模拟计算。
- 郑天水金庆原邢中菁沈元华章志鸣王之江
- 关键词：透射电子显微镜MO/SI膜系调制周期
- 多层膜软X光反射镜
- 1991年
- 复旦大学物理系激光研究室从1984年开始软X光反射镜的研制工作。六年来,进行了超薄多层膜的膜厚监控的方法研究、单层超薄金属膜的特性研究、Ni-C和Mo-Si多层膜软X光反射镜的制备与测试以及用PVD与LB技术相结合制备软X光反射镜。本文详细介绍了这些工作。
- 郑天水金庆原尤天祥
- 关键词：多层膜反射镜
