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赵瑞东
作品数:
4
被引量:3
H指数:1
供职机构:
北京工业大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郭伟玲
北京工业大学电子工程系
李学信
北京工业大学电子工程系
程尧海
北京工业大学电子工程系
李志国
北京工业大学电子工程系
孙英华
北京工业大学电子工程系
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n-GAAS上Ti/Mo/Ti/Au肖特基势垒接触可靠性的研究
赵瑞东
GaAs MESFET中肖特基势垒接触退化机理的研究
1996年
本文对Ti/Mo/Ti/Au作为栅金属的GaAsMESFET进行了四种不同的应力试验:1.高温反偏(HTRB);2.高压反偏(HRB);3.高温正向大电流(HFGC);4.高温存贮(HTS).通过HRB,ΦB从0.64eV减少到0.62eV,理想因子n略有增大.HTS试验中ΦB从0.67eV增加到0.69eV.分析表明,这归因于界面氧化层的消失,以及Ti与GaAs的反应;HFGC试验结果表明其主要的失效模式为烧毁,SEM观察中有电徙动及断栅现象发生.AES分析表明。应力试验后的样品,肖特基势垒接触界面模糊,有明显的互扩散和反应发生.
李志国
赵瑞东
孙英华
吉元
程尧海
郭伟玲
王重
李学信
关键词:
MESFET
砷化镓
肖特基势垒
场效应晶体管
n-GaAsTi/Mo/Ti/Au中肖特基势垒接触稳定性的研究
1996年
对Ti/Mo/Ti/Au作为栅金属的GaAsMESFET进行了高温反偏(HTRB)、高压反偏(HRB)、高温正向大电流(HFGC)、高温存贮(HTS)4种不同的应力试验。通过HRB,φb从0.64eV减少到0.62eV,理想因子n略有增大,HTS试验中φb从0.67eV增加到0.69eV。分析表明,这归因于界面氧化层的消失,以及Ti与GaAs的反应;HFGC试验结果表明,其主要的失效模式为烧毁,同时,SEM观察中也有电徙动及断栅现象发生。AES分析表明,应力试验后的样品,其肖特基势垒接触界面出现模糊,有明显的互扩散和反应发生。
李志国
赵瑞东
程尧海
吉元
郭伟玲
孙英华
李学信
张斌
吕振中
关键词:
砷化镓
肖特基势垒
n-GaAs Ti/Mo/Ti/Au肖特基势垒接触失效机理的研究
被引量:3
1995年
为了弄清界面态、电徙动、界面扩散及反应对肖特基势垒接触和器件电学特性的影响,我们对以Ti/Mo/Ti/Au作为栅金属的GaAs MESFET进行了四种不同的应力试验:1.常温反偏(HRB)。2.高温反偏(HTRB)。3.高温正向大电流(HFGC)。4.高温贮存(HTS)。HRB试验中从0.64eV减少到0.62eV,理想因子n略有增大。HTS试验中Φ_b从0.67eV增加到0.69eV。分析表明,这归因于界面氧化层的消失,以及Ti与GaAs的反应;HFGC试验结果表明其主要的失效模式为烧毁,其次为电徙动及断栅现象。AES分析表明,应力试验后的样品,其肖特基势垒接触界面发生模糊,有明显的互扩散和反应发生。
李志国
赵瑞东
李学信
郭伟玲
程尧海
张斌
关键词:
化合物半导体
半导体器件
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