赵桂荣
- 作品数：10 被引量：17H指数：2
- 供职机构：西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
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- 相关领域：一般工业技术理学更多>>
- 感光性溶胶-凝胶法在功能薄膜微细图形与微阵列中制备中的应用
- 以硅为代表的半导体的微细加工技术已达到了亚微米甚至纳米级的水平,而沿用半导体微细加工技术的功能薄膜的微细加工则远达不到这样的水平,其主要原因之一是由于功能薄膜通常含有多种化学组元,各种元素的抗蚀能力不同,与硅半导体相比,...
- 赵高扬赵桂荣
- 关键词：微细图形感光性阵列溶胶-凝胶法
- 文献传递
- 感光性溶胶-凝胶法在功能薄膜微细图形与微阵列中制备中的应用
- 2004年
- 以硅为代表的半导体的微细加工技术已达到了亚微米甚至纳米级的水平,而沿用半导体微细加工技术的功能薄膜的微细加工则远达不到这样的水平,其主要原因之一是由于功能薄膜通常含有多种化学组元,各种元素的抗蚀能力不同,与硅半导体相比,微细图形制备具有更大的难度.本研究结合功能薄膜的特点,研究了感光溶胶-凝胶技术,在薄膜的制备过程中就考虑到薄膜的微细加工.这种方法充分利用了溶胶-凝胶法可精确调控薄膜成分、按照需要对薄膜的结构进行化学裁剪的特点,用化学修饰法赋予薄膜以感光特性,利用薄膜自身的感光特性制备微细图形,简化了薄膜微细图形制备流程,并可以获得具有亚微米级的功能薄膜阵列或二维格子,在光电子或微电子领域有重要应用前景.
- 赵高扬赵桂荣
- 关键词：微细图形感光性阵列溶胶一凝胶法
- 非晶ZrO_2SiO_2系薄膜及微细图形的制备被引量：14
- 2002年
- 采用溶胶－凝胶与化学修饰相结合的方法制备了ＺｒＯ２－ＳｉＯ２系薄膜、研究了这种凝胶薄膜的 ＦＴ－ＩＲ光谱特性及随紫外线照射时的变化，发现在 １６００－１４００ｃｍ－１之间有一些与含锆螯合物相关的峰，这些峰值随紫外线照射而减弱．表明这些螯合物发生分解，伴随着螯合物的分解，薄膜在乙醇中的溶解能力也发生变化，利用这种特性、紫外光通过掩膜照射凝胶薄膜．用有机溶剂溶洗后，获得凝胶薄膜的微细图形， 再进行热处理，消除薄膜中的有机物就可得到非晶质ＺｒＯ２－ＳｉＯ２系薄膜的微细图形。
- 赵桂荣赵高扬
- 关键词：化学修饰光吸收微细图形非晶薄膜
- 钛酸锆铅薄膜二维铁电阵列制备
- 本研究以乙酸铅(Pb(CHCOOH)·3HO)、硝酸氧锆(ZrO(NO)·2HO)和钛酸丁酯(Ti(CHO))为出发原料。以苯酰丙酮(BzAcH:CHCOCHCOCH)为螯合剂,甲醇为溶剂制备了感光性钛酸锆铅(PZT:P...
- 赵高扬张卫华赵桂荣
- 文献传递
- SiO2薄膜及其微细图形制备新技术
- SiO薄膜由于具有良好的透光性和低的光损耗性能,在光的分束合束、波分复用等集成光学及高精度光栅等元器件中具有重要应用。这类薄膜的光波导制备通常采用传统光刻或干法腐蚀,工序多、成本高,也准以达到更高的精度。本研究采用化学修...
- 赵桂荣张卫华赵高扬胡雄伟杨沁清
- 关键词：二氧化硅薄膜溶胶-凝胶法微细图形折射率
- 文献传递
- 化学修饰法制备的ZrO_2-SiO_2系凝胶薄膜的感光特性研究被引量：5
- 2002年
- 本研究采用溶胶 凝胶与化学修饰相结合的方法制备了xZrO2 ·(10 0 -x)SiO2 系薄膜 ,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性 ,发现了当x >3 0时 ,这种凝胶薄膜在 3 3 5nm附近有较强的吸收峰 ,这一吸收峰对应于与Zr形成配位体的BzAcH的π π 迁移。当紫外光照射薄膜后 ,随着含Zr螯合物的分解 ,吸收峰也消失 ,并引起薄膜在有机溶剂中的溶解特性的显著变化 ,表现出明显的感光特性。这种薄膜经 40 0℃、3 0min热处理以后 ,薄膜中的有机物消失 ,可获得非晶质的ZrO2 SiO2 系薄膜 ,依据这一特性可以用紫外光对这类薄膜进行微细加工。
- 赵桂荣赵高扬
- 关键词：化学修饰微细加工吸光度
- 功能薄膜微细图形制作新技术
- 在溶胶-凝胶制膜过程中引入化学修饰法,从而在溶胶中形成一种感光性螯合物,并使其保留在随后制备的凝胶薄膜之中,用特定波长的紫外光照射这种薄膜后,薄膜在有机溶剂中的溶解特性发生变化,利用这种特性可以获得凝胶薄膜的微细图形,再...
- 赵高扬赵桂荣
- 关键词：溶胶-凝胶法微细图形
- 文献传递
- 化学修饰法制备的ZrO2-SiO2系非晶薄膜及其微细加工
- 本研究采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备ZrO-SiO系薄膜,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性,发现了这种凝胶薄膜对紫外光的感光特性。即当紫外光照射薄膜后,薄膜在有机溶剂中的溶解特性会发生显著变化。这种薄膜经40...
- 赵桂荣赵高扬
- 关键词：化学修饰微细加工紫外线照射
- 文献传递
- 溶胶-凝胶法制备感光性YBCO凝胶薄膜的研究
- YBCO薄膜在红外探测、THz等领域具有十分诱人的应用前景,但要将其应用于具体的元器件,薄膜的微细图形是关键技术之一。该研究试图采用化学修饰的方法合成具有紫外感光性的金属配位化合物,再以这些配位化合物为出发原料制备具有紫...
- 赵桂荣赵高扬张黄莉
- 关键词：化学修饰感光性微细图形
- 文献传递
- 感光性溶胶-凝胶法在功能薄膜微细图形与微阵列中制备中的应用
- 以硅为代表的半导体的微细加工技术已达到了亚微米甚至纳米级的水平,而沿用半导体微细加工技术的功能薄膜的微细加工则远达不到这样的水平,其主要原因之一是由于功能薄膜通常含有多种化学组元,各种元素的抗蚀能力不同,与硅半导体相比,...
- 赵高扬赵桂荣
- 关键词：微细图形感光性溶胶-凝胶法
- 文献传递
