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赵彦军

作品数：3 被引量：5H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第十三研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇磷化铟
  • 1篇单晶
  • 1篇单晶片
  • 1篇致动
  • 1篇微型泵
  • 1篇微型机械
  • 1篇位错
  • 1篇位错分布
  • 1篇晶片
  • 1篇晶体
  • 1篇晶体生长
  • 1篇合成技术
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体材料
  • 1篇硅
  • 1篇磷
  • 1篇EPD
  • 1篇INP
  • 1篇大容量

机构

  • 3篇中国电子科技...
  • 1篇清华大学

作者

  • 3篇赵彦军
  • 2篇孙聂枫
  • 2篇孙同年
  • 2篇周晓龙
  • 2篇杨光耀
  • 2篇杨克武
  • 1篇周兆英
  • 1篇崔天宏
  • 1篇王晓浩
  • 1篇谢德良
  • 1篇付建德
  • 1篇刘二海
  • 1篇杨岳
  • 1篇叶雄英
  • 1篇张文栋
  • 1篇吕苗
  • 1篇陈秉克

传媒

  • 2篇第十三届全国...
  • 1篇机械工程学报

年份

  • 2篇2004
  • 1篇1999
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
硅微热致动泵的关键加工工艺被引量：5
1999年
提出了一种新型结构的硅微热致动泵，对该泵相关的微机械关键加工工艺进行了综述分析和试验研究。
崔天宏周兆英王晓浩叶雄英杨岳张文栋吕苗赵彦军
关键词：微型机械微型泵
Φ50mm InP单晶片的EPD分布测量
采用国际通用的方法,测定了不同类型的用高压LEC法生长的Φ50mmInP单晶样品的整片位错分布,直观显示位错密度在晶片上的分布情况,分析了EPD分布结果和原因,说明单晶生长工艺和掺杂剂等因素对其产生影响,为今后进一步开展...
周晓龙孙聂枫赵彦军杨克武杨光耀谢德良刘二海孙同年
关键词：磷化铟EPD位错分布晶体生长
文献传递
快速大容量磷注入合成磷化铟技术
磷化铟(InP)是一种重要的半导体材料.本工作用一种快速直接磷注入合成和高压液封直拉晶体生长方法制备InP多晶.用这种方法可以在60—70分钟内合成3800克InP并生长在2—4英寸InP单晶.本文讨论了合成InP多晶和...
孙聂枫周晓龙陈秉克杨光耀付建德赵彦军杨克武孙同年
关键词：磷化铟合成技术半导体材料
文献传递
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