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贾晶春
作品数:
4
被引量:3
H指数:1
供职机构:
厦门大学
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发文基金:
中央高校基本科研业务费专项资金
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
金属学及工艺
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合作作者
田中群
厦门大学化学化工学院化学系
韩联欢
厦门大学化学化工学院化学系
田昭武
厦门大学化学化工学院化学系
詹东平
厦门大学化学化工学院化学系
袁野
厦门大学
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袁野
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1篇
2012
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电化学微/纳米加工技术
被引量:3
2012年
介绍电化学微/纳米加工技术,特别是厦门大学电化学微/纳米加工课题组建立起来的约束刻蚀剂层技术,旨在让广大师生了解这一特种加工技术,共同促进我国电化学微/纳米加工技术的研究及产业化进程。
张杰
贾晶春
朱益亮
韩联欢
袁野
时康
周剑章
田昭武
田中群
詹东平
关键词:
约束刻蚀剂层技术
光化学约束刻蚀在微加工中的应用
微纳制造是当代科学技术发展的前沿领域,在推动传统产业升级和促进高尖端制造业的腾飞具有重大意义。随着IC工业、精密光学、微纳机电系统和生物信息技术发展,微纳制造成为增长最快的产业,在航天、石化、电子、医药等领域广泛应用。微...
贾晶春
一种复杂三维多级微纳结构的约束刻蚀加工方法
本发明提供了一种复杂三维多级微纳结构的约束刻蚀加工方法,可在具有简单微结构的弹性模板电极上原位屈曲产生复杂多级微纳结构,同时利用约束刻蚀技术将其屈曲得到的复杂多级微纳结构批量复制到基底材料上。所述方法包括:弹性模板电极简...
詹东平
张杰
田中群
贾晶春
韩联欢
袁野
田昭武
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一种复杂三维多级微纳结构的约束刻蚀加工方法
本发明提供了一种复杂三维多级微纳结构的约束刻蚀加工方法,可在具有简单微结构的弹性模板电极上原位屈曲产生复杂多级微纳结构,同时利用约束刻蚀技术将其屈曲得到的复杂多级微纳结构批量复制到基底材料上。所述方法包括:弹性模板电极简...
詹东平
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田中群
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韩联欢
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