王振华
- 作品数：37 被引量：60H指数：5
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家社会科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信天文地球更多>>
- 基于针法的平板偏振膜设计被引量：4
- 2010年
- 利用针(needle)法优化技术,分别以两种不同厚度的高折射率单层膜为初始膜系,设计得到了平板偏振膜。当入射角为56°时,在中心波长1053 nm附近不小于20 nm的带宽范围内,偏振膜的p光反射率Rp<2%,s光反射率Rs>99.5%,且消光比(Tp/Ts)>200。角度特性分析结果表明,在入射角由53°增大至59°的过程中,两偏振膜的光学性能均满足设计要求,但偏振带却向短波长方向发生了移动,且带宽增大。根据蒙特卡罗容差分析,在各膜层膜厚误差独立的监控方式下,要保证成品率高于90%,则两偏振膜的最大容许膜厚标准偏差分别为1.20%和1.35%。
- 陈乃波吴永刚凌磊婕焦宏飞王振华
- 关键词：薄膜光学针法容差分析
- 湿法和溶脱法的亚微米ZnO:Al光栅制备被引量：5
- 2012年
- 以激光干涉法得到的光刻胶图案为掩模,采用湿法刻蚀和溶脱-剥离法制备了具有良好减反射特性的亚微米掺铝氧化锌(ZnO:Al,AZO)光栅。表面形貌特征和反射光谱测试结果表明,湿法刻蚀较溶脱-剥离法得到的AZO光栅表面更为粗糙,两者均方根粗糙度分别为25.4,7.6nm。在400～900nm波段,两种方法制备的周期和高度相同的光栅,平均总反射率分别由AZO薄膜的12.5%下降到8.3%和10.2%。两者的平均镜面反射率分别为6.2%和6.6%,平均漫反射率分别为2.1%和3.6%。湿法刻蚀得到的表面较为粗糙AZO光栅的漫反射明显减弱,从而导致总的减反特性优于溶脱-剥离法得到的表面起伏相对较小的AZO光栅。
- 刘仁臣吴永刚夏子奂王振华唐平林梁钊铭
- 关键词：掺铝氧化锌激光干涉法湿法刻蚀
- 缓冲层对导模共振滤光片反射光谱截止特性的影响被引量：7
- 2009年
- 提出将均质多层膜系设计中的缓冲层概念引入到反射导模共振(GMR)滤光片的设计中,通过严格的耦合波理论精确计算,研究了加入缓冲层对改善导模共振滤光片反射峰边带截止深度及截止宽度的作用。双层导模共振滤光片结构中,入射光为TE偏振光时,设计增加97.5 nm缓冲层后,能够明显地展宽反射光谱范围。由原来的192.4 nm展宽到345.6 nm,并且在650～1250 nm波长范围内的边带截止度均比不含缓冲层结构的要深。入射光为TM偏振光,以类似FE结构的滤光片在布儒斯特角入射时,在700～1300 nm波长范围内,较不含缓冲层的结构,也能够获得更宽的截止带反射光谱和更深的截止度。在提出的膜系结构中,经过优化膜系、选择合适的光栅参数等,可以使反射光谱具有更好的截止特性,同时保证设计的共振峰位置不变。
- 王振华吴永刚桑田王占山彭东功焦宏飞陈乃波曹鸿
- 关键词：导模共振光栅缓冲层
- 自支撑Zr膜制备及软X射线透过性能研究被引量：2
- 2011年
- 软X射线波段滤光膜材料大都为自支撑金属薄膜,实验室环境下自支撑薄膜长期与空气接触表面易氧化,空气中的杂质原子进入自支撑薄膜内部,致使自支撑膜光学性能大幅下降.5 nm至20 nm软X射线波段Zr具有较低的质量吸收系数和较小的密度,在该波段Zr滤光膜透过率较高.采用脱模剂法制备自支撑Zr膜,在洁净的浮法玻璃上蒸镀一层NaCl做为脱膜剂,直流磁控溅射沉积Zr膜,脱膜后的到自支撑Zr膜.为防止薄膜表面氧化及空气中杂质原子进入薄膜内部,在Zr膜两面各直流磁控溅射沉积一层10 nm厚的C或Si膜作为保护膜,得到C/Zr/C、Si/Zr/Si复合膜,测试结果显示C或Si膜的引入对于自支撑Zr膜光学性能基本无影响.
- 伍和云吴永刚王振华吕刚凌磊婕夏子奂陈乃波
- 关键词：软X射线脱模剂磁控溅射
- 宽截止窄带高反射滤光膜设计被引量：8
- 2008年
- 窄带高反射滤光膜在光通讯、光学探测仪器等领域有着重要应用。探讨了"基片│H(LH)m1αL(HL)m2βCrM│空气"膜系结构的窄带高反射滤光膜系,讨论了金属Cr层厚度,以及两种不同的匹配膜系对滤光膜特性的影响,计算了Cr层内部的电场分布。结果表明,较厚的金属层可实现更宽的截止带宽,匹配层的加入有效地实现了宽截止带的深截止,使中心波长处导纳为较大值的匹配膜系可以更好地实现滤光膜宽截止、窄带高反射特性;匹配膜层使中心波长处Cr层内部的电场强度趋于零,有效地降低了整个膜系的吸收,提高了反射率。
- 彭东功吴永刚焦宏飞曹鸿王振华付联效郑秀萍
- 关键词：薄膜光学导纳
- 带缓冲层的导模共振滤光片反射光谱特性被引量：15
- 2008年
- 将均质多层膜系设计中的缓冲层概念引入到反射导模共振滤光片的设计中，以研究缓冲层的增加对导模共振滤光片反射光谱特性的影响。设计并通过严格的耦合波理论计算了一、二、三、四通道导模共振反射滤光片光谱特性。在膜系设计中增加缓冲层后，随着其厚度的逐渐增加，反射光谱中依次出现二、三、四个窄带反射峰；缓冲层厚度为796．35nm时，当滤光片光栅层占空比在0．2～0．9范围内、光栅深度在100～200nm变化时，共振峰的位置、反射率峰值高度几乎不变，保持了很好的多通道滤光片特性。
- 王振华吴永刚桑田王占山彭东功焦宏飞陈乃波曹鸿
- 关键词：薄膜光学导模共振光栅缓冲层
- 聚苯乙烯薄膜对自支撑锆薄膜的性能改善被引量：3
- 2007年
- 利用直流磁控溅射方法和提拉法制备了自支撑Zr/C8H8复合滤光膜和C8H8滤光膜。用同步辐射光源测量了滤光膜对软X射线的透射率,用俄歇电子能谱分析了膜中的元素含量。结果表明,虽然C8H8薄膜的加入在一定程度上降低了Zr滤光膜在软X射线波段的透射率,但较好地阻止了存储和使用过程中氧、氮等杂质对Zr金属膜的入侵,有效地改善了滤光膜的环境稳定性;同时很好地改善了Zr滤光膜的力学性能和表面面形,使制备的成品率提高了20%。
- 曹鸿吴永刚郑秀萍张莉付联效焦宏飞彭东功王振华
- 关键词：聚苯乙烯X射线激光透射率
- 导模共振滤光片波导近似分析
- 本文从等效折射率理论及薄膜波导的本征值方程出发，研究了导模共振光栅滤光片的波导近似分析方法。分别以单层、四层膜系导模共振光栅结构为例，将光栅等效为均质薄膜，通过求解波导本征值方程，研究了光栅层厚度、周期、占空比，四层膜系...
- 王振华吴永刚陈乃波凌磊婕夏子奂
- 关键词：光栅结构等效折射率
- 文献传递
- 非偏振可调谐导膜共振滤光片系统及其测量纳米间隙的方法
- 本发明涉及非偏振可调谐导模共振滤光片系统及其测量纳米间隙的方法，系统由两个相同的导模共振滤光片平行相向放置构成，每个导模共振滤光片均由衬底层、波导层和光栅层构成，其中，导模共振滤光片系统为正交双光栅系统，两个导模共振滤光...
- 吴永刚伍和云吕刚王振华夏子奂刘仁臣
- 文献传递
- Al和MgF_2多层滤光膜光谱及其环境稳定性被引量：2
- 2008年
- 采用真空热蒸发和电子束蒸发方法,制备了Al和MgF2多层滤光膜,并在100,150,200,300℃的真空环境中进行了热处理,考察了真空热处理温度对多层滤光膜光谱、形貌和环境稳定特性的影响。结果表明,经过真空热处理后,滤光膜表面粗糙度降低,峰值透射率升高,半宽度增大。随着在实验室干燥环境中放置时间的增加,未热处理以及300℃热处理样品的透射率峰位向长波方向有较大的移动,峰值透射率降低,可见光抑制特性减弱。而150,200℃热处理样品的透射率峰位移动很小,峰值透射率及可见光抑制特性基本保持不变,具有很好的环境稳定性。
- 郑秀萍吴永刚付联效王振华曹鸿张莉焦宏飞彭东功
- 关键词：多层膜
