王庆学
- 作品数：21 被引量：52H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：创新研究群体科学基金国家自然科学基金中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术机械工程更多>>
- Hg_(1-x)Cd_xTe分子束外延薄膜晶格参数与组分关系的研究被引量：5
- 2005年
- 高分辨率x射线衍射技术被应用于Hg1-xCdxTe分子束外延薄膜晶格参数的测量及其晶格应变状态的研究,研究发现Hg1-xCdxTe分子束外延薄膜内既存在正应变也存在剪切应变.通过应用晶体弹性理论,对Hg1-xCdxTe分子束外延薄膜的应变状态进行了定量的分析与计算,获得了Hg1-xCdxTe分子束外延薄膜在完全弛豫状态下的晶格参数,从而得到了Hg1-xCdxTe分子束外延薄膜晶格参数与组分的关系,该关系符合Vegard’s定律,而不是早期研究所给出的Higgins公式.研究还发现,根据对称衍射测量所得到的(224)晶面间距,可直接计算出Hg1-xCdxTe分子束外延薄膜晶格参数,并用Vegard’s定律确定组分的方法,可作为估算Hg1-xCdxTe分子束外延材料组分的常规技术,其组分的测量误差在0·01左右.
- 王庆学杨建荣孙涛魏彦锋方维政何力
- 关键词：HG1-XCDXTEX射线衍射技术分子束外延弛豫
- X射线双轴衍射摇摆曲线的计算机模拟
- 本文运用X射线衍射的动力学理论模拟了完整Si单晶,近完整的InP晶体以及碲镉汞外延材料的X射线双轴衍射摇摆曲线.模拟结果表明Si和InP单晶的双轴摇摆曲线均能很好的理论拟合,而对于非完整单晶碲镉汞外延材料,运用所建立的模...
- 王庆学魏彦锋杨建荣何力
- 关键词：计算机模拟SI单晶
- 文献传递
- X射线三轴衍射摇摆曲线的计算机模拟
- 本文运用X射线衍射的动力学理论模拟了近完整的InP晶体以及碲镉汞外延材料的X射线三轴衍射摇摆曲线.模拟结果表明InP单晶的三轴摇摆曲线能很好的理论拟合,而对于非完整单晶碲镉汞外延材料,运用所建立的模型也能够很好的理论模拟...
- 王庆学魏彦锋杨建荣何力
- 关键词：计算机模拟
- 文献传递
- HgCdTe外延薄膜临界厚度的理论分析被引量：5
- 2005年
- 基于在任意坐标系内应力与应变的关系、晶体弹性理论和位错滑移理论,研究了生长方向分别为[111]和[211]晶向,HgCdTe外延薄膜临界厚度与CdZnTe衬底中Zn组分和HgCdTe外延层中Cd组分的关系.结果表明,HgCdTe外延薄膜临界厚度依赖于CdZnTe衬底中Zn组分和HgCdTe外延层中Cd组分的变化.对于厚度为10μm,生长方向为[111]晶向的液相外延HgCdTe薄膜,要确保HgCdTe/CdZnTe无界面失配位错的前提条件,是CdZnTe衬底中Zn组分和HgCdTe外延层中Cd组分的波动必须分别在±0.225‰和±5‰范围内;而对于相同厚度,生长方向为[211]晶向的分子束外延HgCdTe薄膜,CdZnTe衬底中Zn组分和HgCdTe外延层中Cd组分的波动范围分别为±0.2‰和±4‰.
- 王庆学杨建荣魏彦锋
- 关键词：失配位错
- HgCdTe探测器应力的多重晶X射线衍射分析
- 2004年
- HgCdTe光伏探测器的钝化介质膜应力常常限制其低温性能,利用高分辨率多重晶X射线衍射仪中的三重晶衍射技术和倒易空间作图对钝化介质膜应力进行了表征,发现在较高溅射能量下沉积的钝化膜,由于应力的作用,HgCdTe晶片出现弯曲,并有大量镶嵌结构,而在较低的溅射能量下和热蒸发下沉积的钝化膜,晶面未出现明显弯曲,可获得较低应力的钝化介质层。
- 孙涛王庆学陈文桥梁晋穗陈兴国胡晓宁李言谨何力
- 关键词：HGCDTE光伏探测器应力钝化
- HgCdTe钝化过程中形成的镶嵌结构及其热处理效应
- 2005年
- 通过高分辨X射线衍射仪中的二维点阵研究了溅射的CdTe介质膜对HgCdTe外延层的影响 .发现在高溅射能量下沉积的钝化膜由于应力的作用 ,HgCdTe晶片出现弯曲及大量镶嵌结构 。
- 孙涛王庆学陈文桥梁晋穗陈兴国胡晓宁李言谨
- 关键词：HGCDTECDTE钝化二维点阵
- HgCdTe/CdZnTe液相外延材料的倒易空间图研究被引量：2
- 2005年
- 采用高分辨X射线衍射的倒易空间图研究了HgCdTe/CdZnTe(-0.044%晶格失配)液相外延材料界面处晶格结构,结果显示,通常使用的10μm厚的碲镉汞液相外延材料的晶格相对碲锌镉衬底已处于完全弛豫状态,并且外延层和衬底的晶向发生了0.01°的偏离,但是,由于外延层中存在着组分梯度以及衬底和外延层热膨胀系数存在着差异,界面处外延层中仍存在着应力和应变。对称衍射和非对称衍射的实验结果均显示外延材料的倒易空间图沿垂直于散射矢量方向有所扩展,这一结果表明晶格失配的弛豫使得界面处外延层的晶体结构呈镶嵌结构。实验也发现,外延层的非对称衍射倒易空间图的扩展偏离散射矢量方向,根据弛豫线模型,这也是由于界面处外延层存在组分梯度和应变梯度所造成的。
- 王庆学魏彦锋方维政杨建荣何力
- 高Al含量AlGaN多层外延材料的应变与位错密度研究
- 文中利用X射线三轴衍射测试手段对高Al(x≥0.45)含量p-i-n结构的AlxGa1-xN外延材料进行测试,并结合倒易空间图(RSM)和PV函数法对AlxGa1-xN外延材料进行评价.首先通过对RSM的定性分析,给出多...
- 游达王庆学汤英文龚海梅
- 关键词：ALGAN
- 文献传递
- HgCdTe液相外延薄膜红外透射谱分析
- Hg<,1-x>Cd<,x>Te薄膜是研制红外探测器的重要材料.液相外延方法生长的Hg<,1-x>Cd<,x>Te材料通常存在纵向的组分不均匀性.本文用红外透射谱和均匀腐蚀的方法,测量了同一液相外延薄膜在不同层厚时的红外...
- 魏彦锋王庆学杨建荣何力
- 关键词：碲镉汞液相外延红外光谱
- 文献传递
- HgCdTe组分不均性对X射线反射率的影响
- 2005年
- 本征反射率是X射线衍射摇摆曲线计算机模拟的基础。用X射线动力学理论研究了组分不均匀对HgCdTe材料X射线反射率的影响。研究结果表明,横向组分不均匀性直接影响摇摆曲线的峰形,峰值反射率和半峰全宽随组分不均匀的增大而分别减小和增大,且与组分不均匀性的均方差近似成指数关系,但其积分反射率却基本保持不变;采用多层模型对具有线性组分梯度的HgCdTe半导体材料反射率的计算结果则表明,纵向组分梯度除导致反射率峰值强度下降外,还会引起摇摆曲线产生单边干涉效应,摇摆曲线的半峰全宽和干涉峰间距随组分梯度的增加而增大,而干涉峰间距与干涉周期之间的关系则随组分梯度的增加其偏离线性的程度增大。
- 王庆学杨建荣魏彦锋方维政陈新强何力
- 关键词：光学材料HGCDTE
