焦念东 作品数:45 被引量:34 H指数:4 供职机构: 中国科学院沈阳自动化研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家高技术研究发展计划 中国博士后科学基金 更多>> 相关领域: 自动化与计算机技术 一般工业技术 机械工程 理学 更多>>
一种基于模型的压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正方法 本发明涉及一种压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正方法,包括以下步骤:使用电容位移传感器测量压电陶瓷扫描器在线性输入电压下的响应数据;对压电陶瓷扫描器的迟滞性建立数学模型;根据上述测量得到响应数据识别数学模型参数,根据数学模型参... 董再励 王栋 周磊 刘柱 黄富强 焦念东文献传递 具有实时视觉/触觉反馈的纳米操作系统 2006年 由于缺乏实时的传感器信息反馈,导致传统的基于原子力显微镜的纳米操作盲目,操作效率和成功率都非常低。为了克服这一问题,设计和实现了一种具有实时视觉和三维触觉反馈的纳米操作系统。当利用该系统进行纳米操作时,操作者不但可以实时感受到探针与被操作物体间的相互作用力,还可以在3D增强现实图像界面中观察到纳米操作场景的变化,并可以在线控制探针的三维运动。这种交互式的操作系统使得纳米操作变得容易可行。纳米刻画实验和多壁碳纳米管的推动宾验验证了该系统的有效性和高效率。 刘连庆 焦念东 田孝军 董再励 席宁 王越超关键词:力反馈 视觉反馈 原子力显微镜 一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置 本发明涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置,包括固定夹具、探针夹连接器、探针夹;所述探针夹连接器固定于固定夹具上,并与探针夹连接。本发明探针夹体积小、质量轻,能够固定到压电陶瓷驱动器上,可以应用于倒置式原子力显微镜... 于鹏 刘柱 周磊 杨洋 王栋 刘连庆 焦念东文献传递 基于AFM的纳米级电极加工方法 本发明公开一种基于AFM的纳米级电极加工方法,通过控制AFM探针与样本作用力、探针运动路径及速度对微米级电极进行切割加工,实现电极前端宽度100纳米以内的纳米级电极的加工,增加其在纳流控测试中的检测精度及灵敏度。本发明的... 焦念东 王志迁 董再励基于数控雕刻机的微流控芯片制作方法 被引量:1 2013年 介绍了一种基于数控雕刻机的简捷微流控芯片制作方法。结合数控雕刻机加工模式中平行粗加工和等高线细加工的优点,设计并提出了一种不对称路径加工方法,有效避免了微结构在加工过程中出现断裂、扭曲及其附近大量残渣堆积等现象。相对于传统基于微电子机械系统(MEMS)工艺的微流控芯片加工过程(涂胶、曝光、显影等工艺),该方法简捷易行,整个加工过程仅需3 h。实验结果表明芯片通畅性与密封性良好,满足实验要求。这种制作方法可以极大减少微流控芯片的加工时间和成本,为实验室微流控芯片的结构设计和前期原理验证提供了一种简捷有效的途径。 张晓龙 高宏伟 焦念东 刘连庆关键词:微流控芯片 数控雕刻机 微细加工 触控式光诱导介电泳操控方法研究 2018年 对光诱导介电泳(ODEP)这项微纳米操控技术进行了研究,指出现有ODEP操作存在操作界面与观察界面分离,导致操作者在这两个界面中的动作往往不同步,从而影响了ODEP操作的直观性和效率。针对这一问题,提出了一种触控式光诱导介电泳方法,并设计了包括结构光投影模块、视频监控模块、运动控制模块的一体化触控操作界面,操作者在同一个触控操作界面下不仅可对样本进行观察,而且可以以触控方式直接对观察的样本进行ODEP操作。该操作方式提高了ODEP操作的直观性和效率,为ODEP微纳操作提供了一种新的操作方式。 刘天波 戴永庆 袁帅 董挺 焦念东关键词:NET 基于AFM的纳米沟道加工方法 本发明公开一种基于AFM的纳米沟道加工方法。通过控制AFM探针的伸长距离、探针运动速度及路径,实现在二氧化硅基底上加工出特定深度和宽度的纳米沟道。本发明的纳米沟道加工方法可应用于微流控芯片制造中,通过纳米沟道实现对沟道内... 焦念东 王志迁 董再励面向微纳制造的DEP自动化装配技术研究 李文荣 曲艳丽 董再励 李明林 于海波 刘连庆 焦念东 费飞 将DEP技术与微滴定技术相结合,研制出的微/纳米物质自动化装配系统原理样机由显微镜与CCD监视系统、高精度3D微操作器、微滴定子系统(柱塞泵和微滴定探针)、用于产生DEP力的交流信号发生器,以及载有微电极阵列的工作台组成...关键词:关键词:柱塞泵 原子力显微镜纳米沉积加工温度仿真 被引量:1 2017年 原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)纳米沉积加工是一种重要的纳米焊接手段,其加工机理存在场致蒸发和热致蒸发两种可能.为明确AFM沉积加工的机理,本文通过仿真研究了AFM纳米沉积加工过程中的温度变化,分析了加工电流的波形和空气介质对沉积的影响,并在此基础上建模,分别研究瞬态电流和稳态电流引起的温度变化.通过仿真发现,沉积中温度确有上升,但远没有达到引起热蒸发的程度.验证了AFM纳米沉积加工是基于场蒸发的原理. 刘增磊 高爱莲 袁帅 焦念东关键词:原子力显微镜 具有超媒体人机接口的纳米操作系统 2005年 当利用AFM作为纳米操作工具时,由于其缺乏实时的传感器信息反馈,操作完全在盲目的状态下进行,而使纳米操作难于进行。超媒体接口可以解决这个问题,在纳米操作过程中,超媒体接口不但可以为操作者提供实时动态更新的视觉反馈,还可以为操作者提供实时的三维力反馈,与此同时操作者还可以通过该接口直接控制探针的三维运动,实现人机交互式的纳米操作。纳米刻画以及多壁碳纳米管的推动实验验证了系统的效率和有效性。 刘连庆 焦念东 田孝军 董再励关键词:超媒体 人机交互 力反馈