柳忠尧
- 作品数：17 被引量：46H指数：4
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金博士研究生创新基金浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术电子电信航空宇航科学技术更多>>
- 基于等效合成波方法的双真空管空气折射率测量仪被引量：11
- 2004年
- 在高精度测量中必须实时补偿空气折射率的影响。文中提出了等效合成波的概念,利用长度不等的两个真空管构成两个虚拟波长并推导出等效合成波测量公式,并由此建立了一种新型的双真空管空气折射率测量仪。该仪器具有结构紧凑、能实现实时测量的优点。系统测量分辨率为1×10-8,与Edlen公式方法进行的比对实验结果表明,其测量精度优于1×10-7,并具有很好的稳定性和抗干扰能力。
- 陈强华闫聚群柳忠尧殷纯永叶孝佑许婕
- 关键词：计量学空气折射率
- 高精度滚转角干涉仪被引量：9
- 2002年
- 提出了一种基于横向塞曼激光器的新的滚转角测量系统。该系统在已有技术的基础上 ,将测量放大倍率又扩展了 4倍 ,从而大大提高了滚转角的测量精度。系统以横向塞曼激光器出射的正交线偏振光作为测量光 ,首先经 1 /4波片将线偏振光变成微椭圆偏振光 (即进行微椭偏化 ) ,然后测量光通过作为传感器的 1 / 2波片 ,由直角反射镜将光路折回 ,使测量光再次通过作为传感器的 1 / 2波片。由于直角反射镜提供了合理的坐标变换 ,所以使得测量光在两次通过1 / 2波片时 ,偏振方向的改变被叠加了 ,相当于被测量的滚转角放大了 4倍。最后测量光经检偏器合成 ,再用光电探测器接收。由测量光的相位变化可以求出工作台的滚转角变化。在整周期内 ,测量光的相位变化与滚转角成非线性关系 ,但在特定的角度上会出现线性很好的滚转角测量灵敏度倍增区。采用这种方法 ,测量放大倍率可以达到 2 0 0倍 ,能够实现高精度的滚转角测量。使用分辨率为 0 0 0 3°的相位计 ,滚转角的测量分辨率可达到 0 1″。
- 柳忠尧林德教殷纯永蒋弘
- 关键词：干涉仪
- 滚转角测量方法及其滚转角测量仪
- 本发明属于角度的光学测量技术领域,包括在横向塞曼激光器输出端的光轴上设置该半透半反镜,在该半透半反镜的透射光轴上垂直设置有二分之一波片,以及在该反射镜的反射光轴上依次垂直设置有二分之一波片、检偏器及第一光电探测器;在该半...
- 殷纯永柳忠尧林德教蒋弘
- 文献传递
- 共光路双频外差共焦显微测量装置
- 共光路双频外差共焦显微测量装置，属于表面形貌测量技术领域。为了在提高分辨率和量程的同时保证系统有高的稳定性，本发明公开了一种共光路双频外差共焦显微测量装置，包括横向塞曼双频激光器，依次设置在激光器发射端轴线上的分光镜、第...
- 孟永钢柳忠尧闫聚群张蕊林德教殷纯永
- 文献传递
- 用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法被引量：3
- 2005年
- 提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特性,进行边缘定位。相位变化是利用外差干涉测相的方法得到的。这一系统完全符合共光路原则,有很强的抗干扰能力。利用该系统对标准线宽样板进行了测量,测量结果与中国计量科学研究院用原子力显微镜测量的结果,以及厂商提供的可溯源到美国NIST光学线宽标准的测量值都符合的很好;还对同一刻线进行了5次重复性测量,其极限偏差为20nm。
- 柳忠尧闫聚群张蕊林德教殷纯永叶孝佑许婕
- 关键词：计量学线宽共焦显微术
- 共光路双频外差共焦显微测量装置
- 共光路双频外差共焦显微测量装置，属于表面形貌测量技术领域。为了在提高分辨率和量程的同时保证系统有高的稳定性，本发明公开了一种共光路双频外差共焦显微测量装置，包括横向塞曼双频激光器，依次设置在激光器发射端轴线上的分光镜、第...
- 孟永钢柳忠尧阎聚群张蕊林德教殷纯永
- 文献传递
- 双频共焦台阶高度显微测量装置
- 本发明属于表面形貌测量技术领域,涉及双频共焦台阶高度显微测量装置,包括横向塞曼激光器,依次放置在该激光器发射端轴线上的分光镜、法拉第盒、1/2波片、透镜、针孔、胶合透镜和偏振分光镜;放置在该偏振分光镜反射光路上的1/4波...
- 殷纯永林德教柳忠尧张蕊徐毅
- 文献传递
- 大台阶高度测量的外差共焦方法被引量：7
- 2005年
- 台阶高度是微电子产品的一个重要性能参数.基于双频激光干涉共焦显微系统(DICM)提出了一种微电子掩膜板台阶高度测量的扫描方法,在共焦显微扫描样品表面,当光强达到最大值时,将采样外差干涉的相位作为精确对准的判据.该扫描方法集中融合了外差干涉测量和共焦显微测量的优点,同时实现了高分辨率与较大量程的测量,该系统测量台阶高度的范围取决于Z向位移扫描仪PI Foc的扫描范围,可达数十甚至近百微米.实验结果表明该系统在普通恒温的实验条件下1 h内的漂移不超过5 nm,该系统已经用于20μm高台阶的测量,对准分辨率为0 1 nm,实验结果与台阶高度实际值有很好的一致性.
- 闫聚群柳忠尧林德教张蕊殷纯永徐毅许婕
- 关键词：共焦显微术外差干涉相位测量
- 透射式微分干涉显微镜测量光纤折射率分布被引量：2
- 2004年
- 提出一种由两组偏光棱镜组成的透射式微分干涉系统,用来测量光纤的折射率分布。系统利用旋转检偏器对测量光束进行调制,从相位分布和光程分布中计算出折射率分布。介绍了测量原理、测量公式、系统组成及典型应用。用该系统对光纤折射率进行实际测量,给出渐变折射率光纤的二维分布,及折射率沿轴向的分布图,同时还在NR 9200光纤测试仪上进行了测试。结果表明,系统原理正确,结构简捷,具有足够分辨率和测量精度,抗干扰能力强,不破坏光纤,还可测量包层和芯层的直径,发现光纤加工过程中的缺陷,特别适合加工、焊接等工艺过程中的检测。
- 徐毓娴董小满陈永良郑颖君柳忠尧
- 关键词：光纤折射率分布
- 用于掩模板表面形貌测量的外差干涉显微系统的研究
- 论文根据国际和国内微电子工业的发展需要，对基于外差干涉原理的掩模板表面形貌测量方法进行了研究，提出了共光路外差干涉共焦显微测量系统和偏振外差干涉共焦显微测量系统，分别实现对掩模板两个关键参数——台阶高度和线宽的测量。论文...
- 柳忠尧
- 关键词：外差干涉光学工程
