杨海波
- 作品数:25 被引量:50H指数:4
- 供职机构:天津大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金天津市自然科学基金科研院所社会公益研究专项更多>>
- 相关领域:电子电信一般工业技术化学工程环境科学与工程更多>>
- 基于微结构参数建模的多孔硅绝热层热导率研究被引量:1
- 2010年
- 多孔硅由于具有较低的热导率,因而可以将其作为半导体器件中的绝热层.与其他从边界散射等复杂微观热传导机制出发建模研究多孔硅的热导率不同,将多孔硅热导率影响机制更表观地归结到孔洞的存在和分布等结构因素上,把整个多孔硅视为由硅连续材料介质和孔洞连续介质通过串联和并联组合成的复合微结构,给予其低热导率一个更为易于理解和简化的解释.进一步把孔隙率对等效热导率的影响分解为两个不同的部分,即纵向部分和横向部分,半定量地给出不同的孔洞结构和分布下孔隙率与等效热导率的关系.与实验数据进行对比后验证了模型的有效性.继而从结构的角度说明了多孔硅热导率较低的原因.
- 许路加胡明杨海波杨孟琳张洁
- 关键词:多孔硅热导率绝热层孔隙率
- 基于纳米压痕法的多孔硅硬度及杨氏模量与微观结构关系研究被引量:7
- 2007年
- 采用电化学腐蚀制备多孔硅,利用场致发射扫描式电子显微镜(field emission scanning electron microscope,FESEM)观测多孔硅的二维微观形貌,利用Nano Indenter XP中的纳米轮廓扫描仪组件(nano profilometry,NP)得到其三维拓扑分析图像,分析了微观结构差异的原因并讨论了多孔硅内部微观结构对其机械性能的影响;利用MTSNano Indenter XP纳米压入测量仪器,研究了多孔硅的显微硬度和杨氏模量随压入深度的变化规律,比较了不同孔隙率多孔硅的机械性能差别.实验结果测得40mA/cm2,60mA/cm2,80mA/cm2和100mA/cm2四个不同腐蚀电流密度条件下制备多孔硅样品的孔隙率在60%-80%范围内,孔隙率随着腐蚀电流密度的增加而增大;在氢氟酸(HF)浓度为20%的条件下制备出多孔硅样品的厚度在40μm-50μm范围内;测得多孔硅的平均硬度、平均杨氏模量分别在0.478GPa-1.171GPa和10.912GPa-17.15GPa范围内,并且其数值随腐蚀电流密度的增加而减小,在纳米硬度范围内随压入深度的增加而减小,在显微硬度范围内其数值保持相对恒定,分析了样品表面、厚度、微观结构,及环境对其机械性能的影响,得到了多孔硅力学性能随其微观尺度形貌的变化规律.
- 杨海波胡明张伟张绪瑞李德军王明霞
- 关键词:多孔硅微观结构杨氏模量
- 多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究
- 本论文基于MEMS非制冷红外探测器,详述了非制冷红外微测辐射热计的原理、关键参数及研究现状,对器件结构及热敏材料进行了研究。提出了一套基于多孔硅/(PS/)技术的非制冷红外微测辐射热计工艺流程,进行了器件的工艺流程设计,...
- 杨海波
- 关键词:非制冷红外探测器多孔硅氧化钒微测辐射热计
- 文献传递
- S区域内T公司5G通信项目市场营销策略研究
- 在移动通信的快速发展中,中国提出“3G追赶、4G同步、5G引领”的技术战略口号,势必要大力发展5G网络,提高中国在国际上的地位。5G时代的大幕正在徐徐拉开,整个产业链上下都想占得先机,三大运营商也在建设5G精品网络上展开...
- 杨海波
- 关键词:营销策略
- 堇青石-假蓝宝石复相陶瓷的介电性能被引量:1
- 2005年
- 以氧化铝、碱式碳酸镁和二氧化硅为原料,用固相合成法制备了堇青石-假蓝宝石复相陶瓷材料.用阿基米德法测量了其开口气孔率,用X射线衍射仪研究了该材料成分组成.测试其介电性能,并重点分析讨论了气孔率、假蓝宝石含量、烧结助剂含量、晶格常数对此复相材料的介电性能的影响.结果表明,该材料具有低的介电常数和较小的介电损耗,介电常数ε<7.0,介电损耗tgδ<10-3.
- 杨海波梁辉尹力
- 关键词:介电常数介电损耗
- 金属氧化法制备氧化钒薄膜的方法
- 本发明公开了一种金属氧化法制备氧化钒薄膜的方法,步骤为:(1)制备Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>层硅片(2)制备纯金属钒薄膜:真空度为(5~6)×10<Sup>-4</Sup>Pa,溅射工作气压为...
- 胡明陈涛梁继然逯家宁杨海波
- 文献传递
- 微结构参数对多孔硅层热绝缘性能的影响
- 本文研究了多孔硅层厚度,孔隙率以及多孔硅中微晶粒尺寸三个微结构参数对其热绝缘性的影响机制.实验选用p+,p-两种掺杂浓度的硅片基底,采用电化学腐蚀法,通过改变腐蚀时间和腐蚀电流密度获得不同微结构参数的多孔硅层.分别采用显...
- 胡明张伟张绪瑞杨海波
- 关键词:多孔硅电化学腐蚀显微拉曼光谱热导率微结构参数
- 文献传递
- 金属氧化法制备氧化钒薄膜的方法
- 本发明公开了一种金属氧化法制备氧化钒薄膜的方法,步骤为:(1)制备Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>层硅片;(2)制备纯金属钒薄膜:真空度为(5~6)×10<Sup>-4</Sup>Pa,溅射工作气压...
- 胡明陈涛梁继然逯家宁杨海波
- 文献传递
- 堇青石-假蓝宝石复相陶瓷的介电性能研究
- 本文以氧化铝、碱式碳酸镁和二氧化硅为原料,通过固相合成工艺得到假蓝宝石与堇青石粉体,并在烧结助剂的作用下,用固相合成法制备了介电性能良好的堇青石-假蓝宝石复相陶瓷材料。用阿基米德法测量了其开口气孔率,用x射线衍射仪分析了...
- 杨海波梁辉
- 关键词:介电常数介电损耗
- 文献传递
- 从废旧锂离子电池中回收制备正极材料LiCoO/_2的研究
- 研究了湿化学法从废旧锂离子电池回收正极活性材料中有用金属的工艺。NMP可以使正极活性材料从铝箔上完全脱落,在H/_2SO/_4与双氧水系统中,钴和锂的回收率分别为95.06/%和84.02/%。
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- 杨海波
- 关键词:共沉淀法
- 文献传递