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李建鹏
作品数:
4
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供职机构:
中国石油大学(华东)
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
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合作作者
薛庆忠
中国石油大学华东
马明
中国石油大学华东
王盛
中国石油大学华东
周小岩
中国石油大学华东
陈惠娟
中国石油大学华东
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机构
4篇
中国石油大学...
作者
4篇
李建鹏
3篇
王盛
3篇
马明
3篇
薛庆忠
2篇
陈惠娟
2篇
周小岩
1篇
甄玉花
年份
2篇
2012
2篇
2011
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一种具有氢气敏感效应的钯/碳/硅异质结材料
本发明提供了一种具有氢气敏感效应的钯膜/碳膜/硅异质结材料,该材料是通过磁控溅射的方法,将纯度为99.9%的石墨靶溅射到抛光的硅基片上,形成一层厚度为20~200纳米的碳薄膜。再在纯碳薄膜上溅射一层厚度为10~30纳米的...
薛庆忠
李建鹏
陈惠娟
马明
周小岩
王盛
文献传递
一种具有光电导效应的钯掺杂碳膜/氧化物/半导体材料
本发明提供了一种具有光电导效应的钯掺杂碳薄膜/氧化物/半导体材料,是将掺杂原子数含量为0~5%钯的石墨复合靶溅射到厚度为0.5~1.0毫米的带有氧化物的半导体衬底上,形成一层厚度为20~200纳米的薄膜,制成钯掺杂碳薄膜...
王盛
薛庆忠
马明
李建鹏
甄玉花
文献传递
一种具有氢气敏感效应的钯/碳/硅异质结材料
本发明提供了一种具有氢气敏感效应的钯膜/碳膜/硅异质结材料,该材料是通过磁控溅射的方法,将纯度为99.9%的石墨靶溅射到抛光的硅基片上,形成一层厚度为20~200纳米的碳薄膜。再在纯碳薄膜上溅射一层厚度为10~30纳米的...
薛庆忠
李建鹏
陈惠娟
马明
周小岩
王盛
钯/非晶碳膜/硅异质的制备及其电学特性研究
木论文利用直流磁控溅射的方法在硅基片上沉积非晶碳膜,从而形成非晶碳膜/硅(a-C/Si)异质结材料,再在a-C/Si异质结表面沉积金属钯膜,最终得到钯/非晶碳膜/硅(Pd/a-C/Si)异质结材料。并首次将Pd/a-C/...
李建鹏
关键词:
异质结
电学特性
非晶碳膜
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