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李俊龙

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：沈阳航空工业学院更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电位变化
  • 1篇多样性
  • 1篇放电模式
  • 1篇ICP

机构

  • 1篇沈阳航空工业...

作者

  • 1篇祖新慧
  • 1篇李俊龙
  • 1篇张俊
  • 1篇孙景超

传媒

  • 1篇沈阳航空工业...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
ICP中放电模式转化过程中悬浮电位变化的多样性被引量：1
2008年
研究了射频感性耦和等离子体(ICP)中悬浮电位在模式转化过程(E-H模式)的变化多样性。实验研究了射频功率在5W-1000W,气压在2Pa-50Pa的范围内,通过改变导电地面积、匹配网络、气压等参数,使用Z-Scan系统、电流电压探头以及静电探针进行测量的等离子体悬浮电位在模式转化过程中随功率变化的多种形式,同时给出了r型射频匹配网络的正负反馈区的区别,并对产生的多种现象进行了的理论解释。
祖新慧孙景超张俊李俊龙
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