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施维

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
发文基金：教育部跨世纪优秀人才培养计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇一般工业技术
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇氮化碳
  • 2篇氮化碳薄膜
  • 2篇等离子体
  • 2篇脉冲激光
  • 2篇脉冲激光沉积
  • 1篇氮化镓
  • 1篇等离子体辅助
  • 1篇硬材料
  • 1篇砷化镓
  • 1篇碳氮薄膜
  • 1篇硼碳氮薄膜
  • 1篇ECR
  • 1篇ECR等离子...
  • 1篇GAN薄膜
  • 1篇超硬
  • 1篇超硬材料
  • 1篇GAAS

机构

  • 3篇复旦大学

作者

  • 3篇施维
  • 2篇孙剑
  • 2篇吴嘉达
  • 2篇凌浩
  • 2篇应质峰
  • 2篇李富铭
  • 1篇杜元成
  • 1篇丁训民
  • 1篇章企

年份

  • 1篇2002
  • 2篇2001
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
以GaAs为原材料低温制备GaN薄膜
以GaAs 为靶材料,用等离子体辅助反应脉冲激光沉积方法制备GaN 薄膜。我们在ECR 氮等离子体环境中用脉冲激光烧蚀多晶GaAs 靶进行GaN 薄膜的低温合成沉积。成分分析显示,得到的薄膜为富氮的GaN,各组份在膜层中...
凌浩应质峰吴嘉达孙剑施维杜元成李富铭
关键词：氮化镓砷化镓等离子体
ECR等离子体辅助反应脉冲激光沉积氮化碳薄膜
利用电子回旋共振等离子体辅助反应脉冲激光沉积的方法制备了氮化碳薄膜。成分分析显示,制备的薄膜主要由C和N两种元素组成,其中N的含量可高于50%,且膜层均匀.同时X射线光电子能谱（XPS）,傅立叶变换红外谱（FTIR）以及...
施维凌浩孙剑章企吴嘉达应质峰丁训民李富铭
关键词：氮化碳脉冲激光沉积ECR等离子体
ECR等离子体辅助脉冲激光沉积技术和碳基化合物薄膜的制备
该论文主要介绍一种薄膜制备的新方法--电子回旋共振等离子体辅助脉冲激光沉积(electron cyclotron resonance plasma assisted pulsed laser deposition,ECR...
施维
关键词：脉冲激光沉积超硬材料氮化碳薄膜硼碳氮薄膜
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