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廖文林
作品数:
39
被引量:52
H指数:5
供职机构:
国防科学技术大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
机械工程
自动化与计算机技术
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合作作者
戴一帆
国防科技大学
周林
国防科技大学
解旭辉
国防科技大学
李圣怡
国防科学技术大学机电工程与自动...
袁征
国防科学技术大学机电工程与自动...
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作者
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廖文林
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戴一帆
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周林
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2011
4篇
2010
共
39
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基于非线性建模的纳米精度光学曲面离子束加工方法
本发明公开了一种基于非线性建模的纳米精度光学曲面离子束加工方法,步骤包括:获取待加工曲面光学零件的基本去除函数;在基本去除函数的基础上,根据投影畸变、加工参数、待加工曲面光学零件在内的工艺条件进行非线性建模构造待加工曲面...
廖文林
戴一帆
解旭辉
周林
徐明进
鹿迎
文献传递
高精度光学超半球面离子束确定性抛光技术研究
将离子束确定性修形这一光学加工新技术应用到高精度超半球面的加工过程,实现了超半球面的纳米精度加工,不但提高了该类零件的加工精度,而且显著地提高了加工过程的可控性和误差收敛效率.首先,为了给离子束确定性修形技术提供了检测和...
廖文林
戴一帆
解旭辉
周林
关键词:
精度控制
文献传递
光学球体零件全球面三维球度误差的检测方法与装置
一种光学球体零件全球面三维球度误差的检测方法,它是采用波面干涉仪对球体零件进行检测,先根据球体零件的大小以及波面干涉仪的测量镜头的孔径大小将球体零件表面划分成若干子孔径区域,用波面干涉仪对所有子孔径区域逐一进行测量,得到...
陈善勇
戴一帆
廖文林
周林
彭小强
王建敏
采用组合螺旋式抛光路径的抛光工艺
本发明涉及一种采用特殊加工路径的计算机控制抛光工艺,具体公开了一种采用组合螺旋式抛光路径的抛光工艺,包括以下步骤:先确定去除函数,然后以待加工光学镜面的中心作为极坐标原点,靠近原点的中心区域和外围的其他区域分别规划为等面...
周林
戴一帆
解旭辉
袁征
廖文林
段纬然
沈永祥
离子束确定性添加装置及离子束抛光系统
本发明公开了一种应用于离子束抛光系统的离子束确定性添加装置,包括支撑架、支撑架中装设的离子源和受该离子源发出的离子束轰击的靶材,支撑架包括有固定靶材的靶材固定夹具,支撑架上设置有用于截取靶材溅射原子流的光阑;支撑架底部装...
戴一帆
李圣怡
廖文林
解旭辉
周林
袁征
文献传递
熔石英光学曲面的大面积纳米微结构调控制备方法
本发明公开了一种熔石英光学曲面的大面积纳米微结构调控制备方法,步骤包括:将熔石英光学曲面光学零件固定;设置离子入射角θ、离子能量E<Sub>ion</Sub>、束流密度J<Sub>ion</Sub>以及加工时间t;确定对...
戴一帆
廖文林
解旭辉
周林
徐明进
鹿迎
文献传递
基于化学机械抛光和离子束抛光组合工艺的氟化钙单晶超精密加工方法
本发明公开了一种基于化学机械抛光和离子束抛光组合工艺的氟化钙单晶超精密加工方法,包括以下步骤:先采用化学机械抛光方法对氟化钙单晶先进行抛光,去除氟化钙表面的表面损伤和亚表面损伤,露出理想的原子层,获得超光滑的晶体表面;再...
戴一帆
解旭辉
袁征
周林
彭文强
廖文林
文献传递
亚纳米精度光学表面离子束修形的基础研究
2017年
超精密加工是以追求高精度为目标的制造技术,纳米精度制造代表其发展前沿,以极大规模集成电路光刻制造、惯性约束聚变和高分对地观测等为代表的国家重大工程迫切需要纳米精度制造技术的支撑。
廖文林
戴一帆
关键词:
光学表面
超精密加工
修形
惯性约束聚变
对地观测
一种倾斜入射的离子束抛光修形加工方法
本发明公开了一种倾斜入射的离子束抛光修形加工方法,步骤包括:根据待加工光学元件的形状和尺寸建立离子束修形加工路径;设定倾斜加工入射角<Image file="DDA0000714695210000011.GIF" he=...
周林
戴一帆
李圣怡
解旭辉
廖文林
文献传递
一种可降低转角的离子束加工方法
本发明公开了一种可降低转角的离子束加工方法,基于五轴联动加工方法,当加工所需的运动角度太大以至超过机床的极限角度时,利用极限角度进行加工,并对线性位移和驻留时间进行修正。本发明具有原理简单、易实现、适用范围广、尤其是适用...
周林
戴一帆
李圣怡
解旭辉
廖文林
史宝鲁
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