孙敏
- 作品数：14 被引量：24H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信化学工程更多>>
- LED用蓝宝石晶片湿法腐蚀清洗技术的研究被引量：1
- 2013年
- 介绍了蓝宝石晶片的清洗原理;通过分析蓝宝石的表面净化原理和对湿法腐蚀清洗工艺试验的研究,提出了一种适用于工业化生产蓝宝石晶片的清洗剂和净化工艺,满足了LED领域的蓝宝石晶片表面洁净度要求。
- 郑佳晶孙敏张金凤
- 关键词：蓝宝石晶片净化工艺清洗剂湿法腐蚀
- 提高LED清洗机自动化程度的研究被引量：1
- 2013年
- 结合客户生产的实际需要,探讨了3点提高清洗机自动化程度的方法,分别是自动配/补液、条形码信息录入、软件异常处理,并具体分析了在实际生产中的应用情况。
- 张金凤郑佳晶孙敏
- 关键词：条形码异常处理
- 浅析砂轮划片机划切工艺被引量：12
- 2010年
- 介绍了砂轮划片机的划切原理以及砂轮刀具的构成,并对影响划切品质的因素进行了分析,结合以往实验结果,得到了砂轮划片机的常规划切工艺,既通过优化划切参数和对刀片的选择,达到减小崩裂,提高划切品质的效果。
- 文赟王克江孙敏杨云龙
- 关键词：刀具
- 遗传算法在湿法刻蚀设备温度PID控制中的应用被引量：3
- 2014年
- 在湿法刻蚀的工艺过程中,影响刻蚀速度和刻蚀效果的元素有很多,温度是其中一个关键因素,所以在湿法刻蚀设备研制中对温度精度的控制成为重要技术之一。使用基于遗传算法的PID控制方法来实现对温度的控制,进行仿真以及和传统PID控制比较,在实际应用中得到了很好的结果。
- 孙敏张金凤郑佳晶
- 关键词：遗传算法湿法刻蚀PID温度
- 小型化MEMS陀螺仪标定平台的设计被引量：2
- 2015年
- 基于角速率转台体积大、结构复杂、标定范围小、移动性差等现状,设计了一种标定范围广的小型化MEMS陀螺仪标定设备,在此基础上提出了一种角速度积分标定方法,通过将陀螺仪电压信号积分值与实际转动角度进行线性拟合,从而求得陀螺的标度因数。实验表明,该系统标定原理简单可靠,并且标定精度取决于角位置精度和角位移量,降低了对角速度精度的要求,从而大大减小了设备体积和设计难度。
- 侯为萍孙敏
- 关键词：MEMS陀螺仪标度因数伺服系统
- 自动切割机刀具破损检测方法
- 2010年
- 文章介绍了自动切割机的刀具破损的检测原理,并进行了方法设计。对实验得到的数据分析后,结合统计学方法,使用引进的几个基本统计量,进行了算法设计,得到了一套针对有效的自动切割机的刀具破损检测方法。
- 孙敏杨云龙
- 关键词：自动切割机
- 半导体生产厂房化学液集中供应系统设计
- 2014年
- 根据半导体厂房的工作环境、化学液类型与用途和系统供应目的等,提出了常用化学液集中供应的基本要求,从而得出半导体厂房化学液集中供应的系统设计,系统设计包括系统类型、基本构成、控制流程以及安全技术措施等。
- 孙敏
- 关键词：半导体生产系统设计安全技术措施
- 四象限传感器在高精度物料传输系统中的定位应用被引量：3
- 2023年
- 基于四象限光电传感器技术,针对大型半导体物料传输设备的高精度定位需求,设计了一套高精度定位和补偿系统。经过验证,这种基于四象限传感器的定位方法可有效应用于高精度物料传输系统,进行定位并且进行位置补偿后完成物料准确定位传输。
- 孙敏谭立杰宋婉贞符瑶
- 关键词：四象限定位传感器
- 300mm晶圆的复合划片工艺方案简析
- 2015年
- 通过对比目前各种主流划片工艺的优缺点,分析了300 mm晶圆的材料结构特性和主要工艺挑战,提出了复合工艺解决方案;并详细分析了主要工艺路线的挑战,通过具体实验的分析,得到了复合工艺解决方案的结果以及新问题和解决思路。
- 孙敏张玮琪张崇巍
- 用于位置检测的光电二极管参数分析被引量：2
- 2022年
- PIN型光电二极管由于响应速度快,暗电流低,噪声低等特点越来越多地被应用到位置检测中,如何根据设计需求对光电二极管进行选型很重要。通过分析光电二极管的光灵敏度、暗电流、噪声等效功率和响应速度性能参数,分解光电传感器位置检测系统的设计需求,提出了光电二极管的选择依据。
- 谭立杰魏祥英孙敏闫芸
- 关键词：光电二极管响应速度
