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姚尧
作品数:
25
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供职机构:
中山大学
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国际科技合作与交流专项项目
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘扬
中山大学物理科学与工程技术学院...
贺致远
中山大学物理科学与工程技术学院...
何亮
中山大学
杨帆
中山大学
张佰君
中山大学物理科学与工程技术学院...
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姚尧
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刘扬
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贺致远
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一种纵向导通的GaN常关型MISFET器件及其制作方法
本发明涉及一种纵向导通的GaN常关型MISFET器件及其制作方法,外延层包括一次外延生长的n型轻掺杂GaN层和其上的选择区域生长的二次外延层,所述二次外延层自下至上为第一杂质过滤层、电子阻挡层、第二杂质过滤层、非掺杂外延...
刘扬
何亮
杨帆
姚尧
倪毅强
文献传递
一种兼具反向导通的异质结构场效应晶体管及其制作方法
本发明公开一种兼具反向导通的异质结构场效应晶体管及其制作方法,其场效应晶体管,由下往上依次包括衬底、缓冲层、外延层、势垒层;外延层、势垒层形成异质结;异质结上的势垒层上设有欧姆接触源电极、栅极、源电极和欧姆接触漏电极。本...
刘扬
魏进
姚尧
文献传递
采用AlN/GaN超晶格缓冲层的Si衬底GaN外延材料特性研究
本文研究了不同等效Al组分的AlN/GaN超晶格缓冲层结构对Si衬底上GaN外延材料(图la)特性的影响.其中超晶格中的等效Al组分被定义为Al%=dAlN/(dAlN+dGaN)× 100%.我们通过改变AlN或者Ga...
倪毅强
贺致远
杨帆
姚尧
周德秋
吴志盛
张佰君
刘扬
一种横向导通的GaN常关型MISFET器件及其制作方法
本发明涉及一种横向导通的GaN常关型MISFET器件,该器件包括衬底及生长在衬底上的外延层以及栅极、源极、漏极、绝缘层。所述外延层包括一次外延生长的应力缓冲层及GaN外延层,以及其上的选择区域生长的二次外延层,所述二次外...
刘扬
何亮
倪毅强
姚尧
杨帆
文献传递
低温AlN插入层对Si基AlGaN/GaN异质结构材料特性的影响研究
GaN材料体系以其禁带宽度大、耐高压、耐高温等优越性能非常适合制作微波放大及功率开关器件,AlGaN/GaN异质结构是其中的代表.在生长GaN外延层的几种可能衬底材料(蓝宝石、SiC、Si和GaN)中,Si衬底有明显的低...
杨帆
贺致远
倪毅强
姚尧
王硕
张金城
吴志盛
张佰君
刘扬
一种GaN基异质结肖特基二极管器件
本实用新型涉及一种GaN基异质结肖特基二极管器件。该器件包括衬底及生长在衬底之上的外延层,其中,外延层由下往上包括应力缓冲层、GaN层以及异质结构势垒层。在外延层阳极区域刻蚀形成凹槽,凹槽与异质结构势垒层的部分表面蒸镀低...
刘扬
钟健
姚尧
文献传递
一种GaN基增强型MOSHFET器件及其制备方法
本发明涉及GaN增强型MOSHFET器件及其制备方法。该器件包括衬底及生长在衬底上的外延层,其中,外延层由下往上依次包括应力缓冲层及GaN层,GaN层上在栅极区域选择生长一层p-GaN层,在接入区选择生长一层异质结构势垒...
刘扬
姚尧
张佰君
一种GaN基异质结肖特基二极管器件及其制作方法
本发明涉及一种GaN基异质结肖特基二极管器件及其制备方法。该器件包括衬底及生长在衬底之上的外延层,其中,外延层由下往上包括应力缓冲层、GaN层以及异质结构势垒层。在外延层阳极区域刻蚀形成凹槽,凹槽与异质结构势垒层的部分表...
刘扬
钟健
姚尧
文献传递
一种横向导通的GaN常关型MISFET器件及其制作方法
本发明涉及一种横向导通的GaN常关型MISFET器件,该器件包括衬底及生长在衬底上的外延层以及栅极、源极、漏极、绝缘层。所述外延层包括一次外延生长的应力缓冲层及GaN外延层,以及其上的选择区域生长的二次外延层,所述二次外...
刘扬
何亮
倪毅强
姚尧
杨帆
文献传递
场板结构对AlGaN/GaN HFET电场分布的影响
2014年
场板结构可以有效抑制横向型HFET器件栅极边缘的电场集边效应,降低尖峰电场峰值,从而大幅提高器件的耐压特性。利用Sentaurus TCAD工具,构建具有场板结构的HFET器件,研究了场板长度和钝化层的厚度对器件沟道电场分布的影响,归纳出场板结构设计的基本规律和一般方法。
王硕
张炜
姚尧
张金城
刘扬
关键词:
氮化镓
场板结构
击穿电压
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