周煜
- 作品数:5 被引量:10H指数:1
- 供职机构:北京工业大学更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种压电喷墨打印机喷头的动力学特性研究被引量:9
- 2005年
- 为研究压电薄膜驱动的应用,介绍了一种MEMS压电喷墨打印机喷头的工作原理.重点研究了逆压电效应作用产生的机械振动特性.模型结构由一种耐热玻璃与沉积在其表面的压电薄膜复合而成.针对圆形、方形两种形状的压电薄膜,利用有限元分析软件ANSYS分别求得复合结构的最大静位移0.57 μm和0.36μm,一阶固有频率23.90 kHz和22.30 kHz,并比较了两种情况下的动力特性.仿真结果表明,所施加驱动交流电压的频率对该结构可产生很大的影响,其最大机械变形主要取决于谐振频率,从而为喷墨打印机喷头及类似器件的设计提供参考。
- 周煜李德胜李浩群刘本东
- 关键词:微机电系统压电薄膜ANSYS
- 一种微电镀装置
- 一种微电镀装置,主要应用于MEMS器件和其他微小试片的电镀,由机械和电路控制部分组成。机械部分主要包括卡片(1)、卡盘(2)、密封系统(3)、电刷(4)、电机(5)、传动轴(6)、套杯(7)、阳极支撑块(8)、电镀池(9...
- 周煜李德胜杨宇李翔闫通杨建坤
- 文献传递
- 一种带有磁芯的微电磁继电器设计与制作
- 在前期对微机械电磁继电器研究基础之上,重新优化结构,并改进了加工工艺,试制了一种新型微电磁继电器。这种微继电器在设计中采用三维结构,以增大磁路效率,减小漏磁通,从而增加电磁驱动力。基于MEMS复合工艺在硅基底上制作了微继...
- 李德胜刘本东周煜李翔
- 关键词:微驱动器平面线圈
- 文献传递
- 微电磁继电器的结构设计和仿真分析被引量:1
- 2004年
- 介绍一种微电磁继电器的结构和工作原理。应用ANSYS软件对这种微继电器的蟹脚型悬臂梁进行静力学和动力学性能分析,得到结构参数对其机械性能影响的关系曲线,初步确定该结构的模型。仿真结果表明,在工况相同的情况下,它的最大位移量随梁厚、梁宽的增大而减小,随梁胫、梁股的增大而增大,一阶模态频率随这些参数的变化正好相反。此法也适于对其它类型悬臂梁的分析。
- 李德胜周煜李浩群
- 关键词:非线性
- 一种压电式微喷技术的研究
- MEMS,微型机电系统。此技术是用微加工的方法将如微型化的机械部件、传感器、执行器、处理电路等元部件等嵌入到半导体芯片中集成为一个智能化的有机整体,是一项跨电子、机械、材料、控制和生物等领域的交叉学科技术。MEMS技术的...
- 周煜
- 关键词:微机电系统微喷微执行器有限元分析
- 文献传递