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吴忠安
作品数:
2
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供职机构:
中国科学院物理研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
胡放荣
中国科学院物理研究所
汪力
中国科学院物理研究所
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2篇
硅基底
机构
2篇
中国科学院
作者
2篇
汪力
2篇
胡放荣
2篇
吴忠安
年份
1篇
2014
1篇
2012
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一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体
本发明公开了一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体,包含低阻硅基底、位于低阻硅基底之上的金属层、位于金属层之上的绝缘层、位于绝缘层之上的微开口环和电源引线、位于电源引线之上的锚点和位于锚点之上的微悬臂梁,其特征在...
胡放荣
汪力
吴忠安
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一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体
本发明公开了一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体,包含低阻硅基底、位于低阻硅基底之上的金属层、位于金属层之上的绝缘层、位于绝缘层之上的微开口环和电源引线、位于电源引线之上的锚点和位于锚点之上的微悬臂梁,其特征在...
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