何渝
- 作品数：72 被引量：39H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金四川省科技支撑计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种多光场调制的三维形貌测量方法
- 本发明公开了一种多光场调制的三维形貌测量方法，待测三维物体的衍射光场与参考光场干涉形成原始全息条纹，两束调制光束干涉形成干涉条纹，原始全息条纹与调制光干涉条纹发生非相干叠加后由光电探测器采集，通过解调算法从采集得到的条纹...
- 何渝唐燕刘俊伯杜婧
- 基于改进Gerchberg-Saxton算法的全息双面光刻方法被引量：3
- 2023年
- 针对目前双面微器件加工方法步骤繁琐、效率低的问题,提出基于改进Gerchberg-Saxton(GS)算法的全息双面光刻方法,使用单个光源在玻璃基底的上下表面同时曝光,进行双面图形的制作。该方法通过计算不同轴向位置图案对应的组合全息图,并将其加载到空间光调制器(LCOS-SLM)上,对入射光场进行调制,从而在目标空间内实现双面图形重现。采用改进GS算法对距离焦面2 mm处的图案A与距离焦面4.06 mm处的图案B进行全息图计算与仿真重建。搭建实验装置,对3 mm厚透明石英玻璃基底的上下表面同时曝光,且对光场生成过程中的散斑、杂散光及串扰问题做出分析并提出解决方案,最终实现60μm线宽双层图案曝光,验证了所提方法进行双面光刻的可行性。所提方法使用单张全息图和单个光源,通过单次曝光即可在目标体积内生成多层任意图形,极大地简化了双面图形制作的步骤。
- 王化宾何渝赵立新
- 关键词：计算全息
- 一种莫尔条纹倾角测量方法
- 本发明提供一种莫尔条纹倾角测量方法，该方法包括步骤：对倾斜莫尔条纹进行傅里叶变换、相位提取、相位展开、提取条纹x，y方向上行列相位、行列相位斜率计算、条纹倾角计算。通常接近接触式光刻中，掩模与硅片之间存在一定的倾角，不利...
- 朱江平胡松唐燕陈铭勇何渝
- 文献传递
- 一种激光双光束干涉光刻系统
- 本发明公开一种激光双光束干涉光刻系统，结合激光场调制技术，通过一次曝光或者多次曝光实现大面积、多样化周期结构和复杂结构的快速纳米尺度的加工。该系统包括：利用数字微镜元件实现光线选通，空间光调制器或者变形镜调制一路入射光相...
- 严伟高洪涛田鹏李凡星彭伏平刘俊伯何渝杨帆吴云飞
- 文献传递
- 一种叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法
- 本发明提供一种叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法，所述的方法在照明系统经扩束后由光纤引入光路，经过聚光镜均匀照明标记光栅，标记光栅经第一远心成像系统，再由棱镜成像在硅片表面，被反射后经过棱镜，第二远心成像系统；通过分光棱镜将...
- 冯金花胡松何渝李艳丽
- 文献传递
- 一种单焦点光子筛
- 本发明公开了一种单焦点光子筛，包括透明衬底层和金属层。在透明衬底上制备有金属层，金属层上刻蚀出所需要的微细结构加工而成。所述的微细结构由许多位于特定位置的特定大小的小孔组成。这些小孔位于相互交错的环带中，环带的边界曲线满...
- 程依光刘俊伯何渝周毅邓钦元胡松赵立新
- 一种掩模与基底相对同轴旋转的曝光装置
- 本发明公开了一种掩模与基底相对同轴旋转的曝光装置，该曝光装置包括四个部分：曝光光源及控制系统、掩模调整机构、基底调整机构、基底旋转机构及控制系统。通过掩模调整机构和基底调整机构的共同作用，具备掩模相对基底进行六自由度调整...
- 刘鑫范斌杜俊峰何渝
- 高斯光束经光子筛的衍射特性分析
- 何渝胡松赵立新唐燕
- 一种基于超分辨光刻的间隙检测装置
- 本发明提供一种基于超分辨光刻的间隙检测装置，所述的装置由光源发出的光经Y型光纤导入光纤准直镜，在掩模的半透半反窗口产生分光，其中一束光反射回到光纤准直镜内部，另一束光经掩模的半透半反窗口透射后，经基片表面反射，透过掩模的...
- 冯金花唐燕何渝
- 文献传递
- 多功能匀光耦合装置及标定检测的方法
- 本公开提供一种多功能匀光耦合装置及标定检测的方法，该多功能匀光耦合装置沿光路方向依次包括：光源切换单元，包括位移调节台、光纤固定板和入射光纤，入射光纤包括第一光纤和第二光纤；第一光纤、第二光纤固定于光纤固定板上，通过位移...
- 邵洪禹赵立新何渝龚天诚吴斯翰王彦钦王长涛
