何淼
- 作品数：4 被引量：5H指数：1
- 供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划上海市科委重大科技攻关项目更多>>
- 相关领域：电子电信航空宇航科学技术理学机械工程更多>>
- 磁悬浮转子微陀螺中转子性能和加工的研究
- 本论文的研究工作是探讨磁悬浮转子微陀螺中转子的性能和加工工艺。本文首先介绍了陀螺的发展概况、应用、惯导系统对陀螺仪的技术要求，以及陀螺的小型化趋势。之后，以框架支承转子陀螺为例，介绍了陀螺的工作原理，在简要叙述了国内外几...
- 何淼
- 关键词：磁悬浮微陀螺转子微机电系统
- 磁悬浮转子微陀螺中转子微加工方法的研究
- 2004年
- 微陀螺是微小卫星、微飞行器等装备中不可缺少的惯性器件 ,磁悬浮转子陀螺能克服机械支承和定位的摩擦 ,使之可以达到普通陀螺的精度要求。本文介绍了磁悬浮转子微陀螺的基本原理 ,根据产生电涡流、保持稳定悬浮和旋转的需求 ,对转子进行了设计 ,对比研究了溅射、蒸镀、冲压等三种加工微转子的方法 ,悬浮试验证明冲压铝箔法制备的转子能够满足微陀螺的要求。
- 何淼吴校生陈文元张卫平
- 关键词：磁悬浮微陀螺转子微机电系统微细加工
- 磁悬浮转子微陀螺悬浮线圈的结构设计
- 2005年
- 在磁悬浮转子微陀螺(MGELR)中,悬浮线圈是定子线圈的重要组成部分,它产生的电磁力将微转子浮起.基于多圈螺旋型悬浮线圈新型结构能产生较大的悬浮力,应用有限元方法对其进行建模仿真,研究了线圈的圈数、厚度和内径对悬浮力的影响规律.结果表明:随着悬浮线圈的圈数增多,悬浮力增大且幅度增加;线圈厚度增加,悬浮力减小;随着悬浮线圈内径增加,悬浮力呈线性增加.采用了光刻、电镀、溅射等微细加工工艺制造了MGELR的定子.初步的实验结果验证了该设计方案是可行的.
- 吴校生陈文元赵小林李振波张卫平崔峰何淼
- 关键词：磁悬浮微陀螺线圈微细加工
- 磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究被引量：4
- 2004年
- 介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺。磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转子;上壳体采用体硅腐蚀来制作。初步的实验表明该方案是行之有效的。
- 吴校生陈文元赵小林张卫平何淼
- 关键词：磁悬浮转子微陀螺微细加工工艺平面线圈
