陈华男
- 作品数：36 被引量：25H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学文化科学更多>>
- 光学非球面元件的变形加工方法
- 光学非球面元件的变形加工方法，涉及光学加工领域，解决了现有光学非球面元件加工方法存在的加工时间长、成本高的问题。本发明针对所要加工的光学非球面元件设计一种特制的真空工装，使用真空装卡的方式，在真空装卡状态下光学非球面元件...
- 代雷陈华男闫丰谷勇强隋永新杨怀江
- 光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置
- 光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，属于深紫外投影光刻物镜装调技术领域，为解决现有光学元件检测装置存在的对镜片面型影响大、支撑力不均匀的问题，该装置包括光学元件、多个气囊、底座、充气管和转接头；光学元件放置于多个气...
- 彭海峰巩岩何欣陈华男李显凌倪明阳
- 文献传递
- 具有三自由度的减薄直圆型柔性铰链柔度分析
- 针对并联机构中常用的柔性铰链一般需要在多个方向上加工,难以实现与机构一体化的问题,提出了一种减薄的直圆型柔性铰链.该铰链具有三个转动自由度,仅需在一个方向上即可完成加工,便于应用于结构一体化的定位机构中.根据卡氏第二定理...
- 郭抗倪明阳孙振陈华男王东平
- 关键词：有限元模型
- 文献传递
- 机器人足部柔性传感装置研究被引量：3
- 2013年
- 为了满足足式机器人动态性能与环境适应性的要求,将测力元件与弹性元件相结合,提出了一种可用于机器人足部的柔性传感装置。通过对其力学模型的分析,给出了三维力/力矩计算与底面倾角估算方法。同时针对装置要求,完成了基于ARM的检测系统的软硬件设计与实现方案,并对装置关键参数进行了标定。针对传感器的实验表明,在X、Y倾角小于20°的情况下,装置综合误差小于3%,可满足足部测量的需要。该装置体积小,精度高,反馈信息丰富,可为足式机器人的步态优化提供重要数据。
- 王绍治刘健张玲花陈华男
- 关键词：信号调理
- 膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进被引量：3
- 2015年
- 为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价。首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振像差理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投影光刻物镜为例,设计了相应膜系,系统分析了膜层引入的偏振像差,并在设计时对膜层引入的离焦项和球差项进行了间隔优化补偿,补偿前后标量波像差和质心畸变分别从68.92 nm和3.76 nm改善为1.08 nm和0.38 nm,偶极照明模式下90 nm密集线条对比度从0.082提高为0.876,在此基础上,提出在设计时根据不同表面的入射角分布情况,采用组合膜系,同时控制P光和S光的振幅和相位分离,减小膜系引入的延迟和二次衰减等偏振像差,使得线条对比度提高了1.1%。
- 尚红波刘春来张巍陈华男
- 关键词：光学制造投影光刻物镜膜系对比度
- 一种光学元件轴向位置精密调整装置
- 本发明一种光学元件轴向位置精密调整装置，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，解决了现有技术存在容易污染光学元件，稳定性不好，换向机构复杂、加工困难的技术问题；本发明包括光学元件、镜框外框和镜框内框，还包括驱动器...
- 陈华男郭抗倪明阳李显凌隋永新杨怀江
- 一种平面平行度的测量方法
- 本发明涉及一种平面平行度的测量方法，所述测量方法包括以下步骤：将具有过渡平面的第一零件和具有待测平面的第二零件进行装配得到装配部件，测量过渡平面的平面度和待测平面的平面度并根据过渡平面的第一平面度和待测平面的平面度得到所...
- 郭抗陈华男倪明阳隋永新杨怀江
- 文献传递
- 光学元件面形检测均匀支撑装置
- 本发明公开了一种光学元件面形检测均匀支撑装置，属于光学元件面型检测领域。本发明的支撑装置，包括活动球头活塞支撑、直线轴承、壳体和底座；壳体固定在底座上并与底座构成腔体，壳体上设有按圆周均布且与腔体贯通的多个安装孔，每个安...
- 李显凌陈华男倪明阳彭海峰
- 光学加工中真空夹具设计及分析被引量：8
- 2013年
- 为了在光学加工中快速、可靠地装夹光学元件,设计了真空夹具,对该真空夹具引起光学元件变形量进行了分析。首先,根据光学加工对夹具的要求,应用手动静压快速夹头以及传统真空吸盘结构,设计了真空夹具;接着,对真空夹具引起光学元件变形量进行了仿真分析,并根据分析结果改进了真空夹具结构;最后,针对改进后的真空夹具进行了仿真验证。仿真结果表明:有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量在0.1μm～0.32μm之间,是没有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量的1/14。该种真空夹具可以应用于高精度光学加工中。
- 陈华男李显凌孙振
- 关键词：光学元件防护层光学加工
- 一种光学加工用抛光液恒温供给装置及温度控制方法
- 一种光学加工用抛光液恒温供给装置及温控方法属于光学加工技术领域，该装置包括制冷单元、加热单元、内循环回路和控制单元，所述制冷单元用于将抛光液的温度降低到设定值，制冷单元包括压缩机、冷交换器、散热器和膨胀阀；所述内循环回路...
- 崔洋陈华男尹志生李佩玥彭吉王绍治隋永新杨怀江
- 文献传递
