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文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇花篮
  • 2篇硅片
  • 1篇通孔
  • 1篇推板
  • 1篇转轮
  • 1篇转轴
  • 1篇装载
  • 1篇空腔
  • 1篇拉杆
  • 1篇硅片表面

机构

  • 2篇北京市塑料研...

作者

  • 2篇黄萍
  • 2篇朱道峰
  • 2篇高毅
  • 2篇张洪建
  • 2篇周祖武
  • 2篇赵剑京
  • 2篇王国华
  • 1篇庄甦

年份

  • 2篇2011
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种硅片推片器
一种硅片推片器,包括:支撑一个石英舟和一个硅片装载花篮的底座、等间距设置有多个推齿的推齿片、推板、拉杆、导向滑轨和连接部件,其中,所述推齿片分别安装在推板相对的侧面,导向滑轨固定在底座底部,拉杆设置在导向滑轨上,所述连接...
朱道峰高毅黄萍王国华周祖武赵剑京张洪建
文献传递
一种推片器的石英舟升降装置
一种推片器的石英舟升降装置,包括:转轴、椭圆转轮和控制所述转轴旋转的拨动装置;以及承载石英舟和硅片承载花篮的底座;其中,在所述底座对应石英舟放置的位置上设置有至少两排通孔和两排贯穿底座的空腔,空腔穿过所述通孔,转轴设置在...
朱道峰高毅庄甦黄萍王国华周祖武赵剑京张洪建
文献传递
共1页<1>
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