范瑞瑛
- 作品数:28 被引量:205H指数:8
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域:理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 利用电介质保护膜提高铝镜和硅窗口的抗激光强度被引量:3
- 1996年
- 从加快热传导及其减小光能吸收两个方面入手,讨论了通过增镀介质膜提高铝镜和硅窗口的激光对抗能力的具体措施及其可行性。在1.06μm红外激光与铜蒸气激光损伤实验中,经过加固的样品的损伤阈值均有所提高,从而验证了加固措施的合理性。
- 赵强范正修周东平范瑞瑛刘立明
- 关键词:激光损伤
- 微缺陷对薄膜滤光片环境稳定性的影响被引量:8
- 2005年
- 用热蒸发方法沉积了薄膜滤光片.并将样品分别在去离子水中浸泡10天和30天.通过分光光度计、光学暗场显微镜、及扫描电子显微镜等多种测试手段,对诱导透射滤光片在潮湿环境下的稳定性进行了研究.实验发现,在潮湿环境下滤光片产生的膜层分离都是从薄膜中微缺陷点处开始发生和发展的,微缺陷是影响滤光片环境稳定性的重要原因之一,其中杂质和针孔是滤光片中两种最常见的微缺陷.EDS能谱分析进一步表明,薄膜中杂质缺陷成分即为Al2O3膜料本身,所以不能推测,薄膜沉积中的喷溅可能是微缺陷产生的根本原因,抑制喷溅可以有效提高薄膜滤光片的环境稳定性.最后还用扩散理论对微缺陷引起滤光片失效的机理进行了分析.
- 张东平齐红基方明邵建达范瑞瑛范正修
- 关键词:微缺陷
- 杂质对光学薄膜激光损伤阈值的影响被引量:27
- 1999年
- 通过对一系列106μmHfO2/SiO2全反膜样品进行的激光损伤阈值测试,以及二次离子质谱杂质含量测定的结果进行的比较分析,提出了减小膜系制备过程中杂质污染是提高光学薄膜激光损伤阈值行之有效的途径。将理论分析运用于具体生产实践中,获得了令人满意的结果。
- 胡海洋范正修刘晔赵强范瑞瑛黄日成
- 关键词:激光损伤阈值二次离子质谱光学薄膜
- 薄膜应力分析及一些测量结果
- 论述了薄膜应力在强激光薄膜应用中的重要性,分析了应力的形成原因及沉积参数、老化条件的关系,给出了应力的简单测试方法及部分结果.
- 范瑞瑛范正修
- 关键词:热应力薄膜应力
- 文献传递
- 高强度激光薄膜的研制被引量:12
- 1999年
- 为提高激光薄膜的抗激光强度,实验研究了薄膜新材料、镀膜基体的表面粗糙度和洁净度,薄膜中的杂质污染,镀膜后的热处理。
- 范正修胡海洋范瑞瑛赵强刘晔黄日成
- 关键词:激光破坏激光预处理
- ZrO_2薄膜残余应力实验研究被引量:32
- 2004年
- 采用ZYGOMarkⅢ GPI数字波面干涉仪对电子束蒸发方法制备的ZrO2 薄膜中的残余应力进行了研究 ,讨论了沉积温度、沉积速率等工艺参量对ZrO2 薄膜残余应力的影响。实验结果表明 :随着沉积温度及沉积速率的升高 ,ZrO2 薄膜中残余应力状态由张应力变为压应力 ,且压应力值随着沉积温度升高而增大。同时用X射线衍射技术测量分析了不同沉积条件下ZrO2 薄膜的微结构组织 ,探讨了ZrO2
- 邵淑英范正修范瑞瑛邵建达
- 关键词:薄膜物理沉积温度沉积速率电子束蒸发法X射线衍射技术
- 离子束清洗在激光薄膜中的应用
- 用End-Hall型离子源进行了离子束清洗在激光薄膜中的应用研究.通过实验验证了基片的二次污染和离子束的清洗效果,观测了离子束清洗前后基片的表面形貌变化,研究了离子束清洗基片对基片上薄膜抗激光损伤阈值的作用.分析了离子束...
- 张大伟邵建达王英剑范正修范瑞瑛
- 关键词:离子源损伤阈值表面形貌
- 文献传递
- 离子束清洗在激光薄膜中的应用被引量:9
- 2005年
- 介绍了在激光薄膜中End Hall型离子源离子束清洗的应用。通过实验验证了基片的二次污染和离子束的清洗效果,观测了离子束清洗前后基片的表面形貌变化。研究了用离子束清洗基片时对薄膜抗激光损伤阈值的作用。分析了用离子束清洗基片时其基片表面的性质,如清洁度、表面能、接触角、表面形貌的变化机理。指出了杂质微粒的去除和附着力的增加是如何使薄膜抗激光损伤阈值显著提高的。
- 张大伟张东平邵建达王英剑范正修范瑞瑛
- 关键词:激光薄膜离子源损伤阈值
- 一种用于Yb:YAG激光器的波长分离膜的研制
- 本文以1030nm高反,940,980nm高透的波长分离膜作为实例,为提高该薄膜元件的波长分离效果,从膜系的优化方面做了一系列的研究,诸如采用带通滤光片的设计思想,在膜堆两侧加入了匹配层,调整膜堆的周期厚度,并用膜系设计...
- 张伟丽黄建兵赵元安邵建达范瑞瑛范正修
- 关键词:损伤阈值膜系YB:YAG激光器
- 文献传递
- 2μm波段激光薄膜的研制被引量:4
- 2006年
- 概述了国内外关于-2μm波段发光的掺Tm3+,Ho3+和Er3+等激光晶体镀膜的使用情况,结合我们实验室已有的工作基础,对其设计原理和制备工艺进行了详细分析,制备出了较高性能2.94μm的激光薄膜。
- 晋云霞范瑞瑛邵建达范正修
- 关键词:激光晶体医用激光