您的位置： 专家智库 > >

练小正

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇氧化膜
  • 1篇陀螺
  • 1篇陀螺仪
  • 1篇溅射
  • 1篇AL
  • 1篇CU
  • 1篇测控
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇哈尔滨工程大...
  • 1篇中国航天科工...

作者

  • 1篇于佳音
  • 1篇练小正
  • 1篇乔英杰

传媒

  • 1篇中国科技论文

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
Al/Al_2O_3/Cu测控温薄膜材料的制备
2013年
针对液浮陀螺仪悬浮液的应用环境,设计出Al/Al_2O_3/Cu测控温材料。采用阳极氧化的方法在草酸与冰乙酸组成的电解液中制备了阳极氧化膜绝缘层,并采用磁控溅射的方法制备了温度敏感层。利用扫描电镜、原子力显微镜和光学显微镜等研究了阳极氧化膜和铜膜的表面形貌,采用绝缘电阻测试仪测试阳极氧化膜的绝缘性能。结果表明,阳极氧化工艺对阳极氧化膜的绝缘性能以及热处理过程中的开裂行为都有一定影响。电流密度为1.0～1.5 A/dm^2,冰乙酸浓度为0.1～0.3 mol/L,阳极氧化时间在30～60 min条件下制备的氧化膜绝缘性能和抗开裂性能满足Al/Al_2O_3/Cu绝缘层要求。以该氧化膜为衬底制备铜膜刻蚀后可得到连续的电阻条。
于佳音崔新芳练小正乔英杰
关键词：陀螺仪氧化膜磁控溅射
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0