王春洪
- 作品数：9 被引量：89H指数：5
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
- 永磁直线同步电动机的自适应学习控制被引量：51
- 2005年
- 由于没有传动机构,使永磁直线交流同步电机(PMLSM)控制器设计较为复杂。PMLSM对模型不确定性和外扰更加敏感;推力波动等非线性因素对运动精度影响很大。针对上述问题,用自适应学习方法改善PMLSM的轨迹跟踪性能,并对迭代模式和单次运行模式下算法的收敛性进行了证明,通过实验进行了算法验证。该控制方法基于迭代学习,控制器分为两个部分,通过执行重复任务自适应学习项补偿系统的非线性;另一项用于增强系统的鲁棒性,保证系统在单次运动模式下稳定。实验结果表明,这种控制方法可以有效提高PMLSM轨迹跟踪精度。
- 宋亦旭王春洪尹文生贾培发
- 关键词：直线永磁同步电动机运动控制推力波动鲁棒性迭代学习
- 高温氧化扩散炉温度控制系统自整定技术被引量：1
- 2008年
- 针对高温氧化扩散炉设备工艺温度需求,提出了高性能多段炉温控制系统与整定技术。系统各段加温区控制与整定采用各自独立通道,系统通过主动调节各通道激励信号,同时获得各段炉体的谐波平衡信号,从而获得临界周期与临界增益,最终通过Z-N法获得多段炉体PID参数。实验表明,改进的多段炉体整定技术参数稳定有效,时间缩短。利用整定参数进行温度工艺控制实验,实验结果达到氧化扩散工艺要求。
- 杨一博尹文生王春洪朱煜
- 关键词：扩散炉温度控制PID自整定
- 光刻机模拟工件台掩模台同步运动误差分析被引量：5
- 2007年
- 步进扫描光刻机是半导体制造行业的关键设备,在这种光刻机系统中,硅片台和掩模台要按照1∶4的速度比进行同步扫描运动,同步运动性能指标以移动平均差(MA)和移动标准差(MSD)来度量。扫描过程中的同步性能对光刻机最终能生产出的芯片特征尺寸有着很大的影响。文章对模拟硅片-掩模台同步运动的同步误差进行了分析,给出在一定的扫描速度下,不同频率范围的误差成分对MA和MSD的影响的规律,分析结果对于有针对性地提高同步性能指标具有一定的指导意义。
- 王春洪段广洪朱煜
- 关键词：光刻机误差分析
- 永磁同步平面电动机三自由度运动控制器被引量：17
- 2006年
- 建立了永磁同步平面电动机动子的3自由度动力学模型,并在偏摆角位移较小的假设基础上,对动力学模型进行了简化,进而拟定了通过同时调节4个电磁推力以产生所需偏摆限位转矩的力控制策略。此外,基于状态空间极点配置法,分别设计了与3个自由度对应的位置伺服控制算法,并且对所建立的控制系统进行了数值仿真,仿真结果表明所采用的控制策略和控制算法使控制系统达到了预期的动、静态指标。
- 曹家勇朱煜汪劲松尹文生段广洪王春洪
- 关键词：同步电动机永磁平面电机极点配置
- 基于回归正交设计的ICP刻蚀机工艺腔室流场特性分析被引量：4
- 2008年
- 为研究感应耦合等离子体(ICP)刻蚀机工艺腔室结构对流场特性的影响,采用回归正交设计方法对腔室半径、腔室高度、进气口半径以及进气流量4个设计参数进行试验设计,利用商业软件CFD-ACE+建立ICP刻蚀机工艺腔室二维流场仿真模型.定义了静电卡盘上方气压分布均匀性评价函数,通过对试验结果的回归分析,确定了关键参数对气压分布均匀性影响程度的定量关系,并由此建立了拟合度较高的二次回归方程.结果表明腔室高度为最显著影响因素.经过验证可见,回归方程的计算结果与仿真分析结果保持了较高的一致性,可以为结构与工艺条件相近的刻蚀机、化学气相沉积(CVD)设备以及氧化/扩散系统的结构研究与设计提供参考.
- 程嘉朱煜段广洪王春洪
- 关键词：感应耦合等离子体
- 高温氧化扩散炉温控系统设计被引量：2
- 2009年
- 针对半导体行业高温氧化扩散炉设备设计、实现了一套炉温控制软硬件系统。硬件系统由多路开关、温度变送器、工控机、信号输入输出板卡组成。在此硬件基础上根据工艺要求设计控温软件的结构与算法,改进了PID参数整定算法,引入了轨迹规划算法,完成了多段炉体的控温、斜变升温、PID参数整定和自动温区分布。实验表明,在此系统控制下,炉体能够达到高温氧化扩散工艺的需求,并且系统的扩展性、稳定性、精确性等方面得到了提高。此温度控制系统已经应用于工业用高温氧化扩散炉设备。
- 杨一博尹文生王春洪朱煜张明超
- 关键词：扩散炉温度控制PID自整定
- 粗精动超精密运动平台系统建模与分析研究被引量：9
- 2008年
- 建立了气浮支撑粗精动超精密运动平台系统理论模型。在分析了系统中存在的位置耦合与力耦合的特性以及系统模型随平台质量比的变化产生的模型特性变化的基础上,用矩阵分式形式描述了系统的传递函数矩阵并分析了系统的能控性与能观性。基于建立的模型设计了LQG多输入多输出运动控制器并进行了运动平台控制仿真,结果表明,通过抑制气浮粗精动平台中产生的耦合作用可提高系统动态性能。
- 杨一博尹文生朱煜王春洪
- 关键词：LQG控制器
- 双边驱动精密气浮工作台模型分析被引量：5
- 2008年
- 设计了一种以直线电机进行双边驱动、以单侧气浮导向的精密运动平台,并对系统进行了动力学建模和分析,得到了系统特性与几何尺寸、质心分布之间的关系,根据系统的要求,设计合适的几何尺寸,可以优化设计出能够更好满足要求的系统结构。
- 王春洪张鸣尹文生朱煜段广洪程嘉
- 关键词：精密工作台动力学
- 双边驱动精密运动台振动特性研究被引量：1
- 2009年
- 双边驱动结构具有行程大、驱动力大、带宽高等优点,在平面两自由度气浮精密/超精密运动台中得到了广泛应用。双边驱动方式通常采用双边测量,这样不仅会导致阿贝误差,同时也会对系统的模型产生影响。本文针对平面两自由度双边驱动气浮精密运动台,通过仿真和辨识实验研究,对系统的共振和反共振问题进行了深入分析,为解决此类双边驱动结构的振动问题提供了理论依据。
- 贾松涛朱煜杨开明徐登峰王春洪
