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王天喜
作品数:
8
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
罗乐
中国科学院上海微系统与信息技术...
徐高卫
中国科学院上海微系统与信息技术...
汤佳杰
中国科学院上海微系统与信息技术...
宋恩亮
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈骁
中国科学院上海微系统与信息技术...
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机构
8篇
中国科学院
作者
8篇
徐高卫
8篇
罗乐
8篇
王天喜
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汤佳杰
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叶交托
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李珩
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朱春生
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韩梅
1篇
宁文果
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陈骁
年份
2篇
2015
2篇
2014
1篇
2013
3篇
2012
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一种增强BCB和Au之间粘附性的方法
本发明涉及一种在圆片级射频封装中增强介质层BCB和金属层Au之间粘附性的方法。其特征在于,不需用添加其它粘附材料,只通过工艺参数的选择及优化,增强了BCB和金属层Au的粘附性。其主要步骤为:首先,对介质层BCB进行表面预...
王天喜
罗乐
徐高卫
汤佳杰
文献传递
一种基于BCB/Au制作集成射频贴片微带天线的方法
本发明涉及一种在硅基上基于BCB/Au的集成贴片天线的制作方法。其特征在于衬底硅上刻蚀深槽以增加介电材料厚度,从而增加天线带宽;槽中填充的材料与传输线的介电材料相同,均为低介电常数的BCB。制作工艺为:首先在硅基上刻蚀一...
王天喜
罗乐
徐高卫
汤佳杰
宋恩亮
一种集成宽频带天线及其制作方法
本发明提供一种集成宽频带天线及其制作方法,通过在Si衬底上制作接地平面,在接地平面上制作具有流动性的有机介电材料并固化作为天线的基板,在该基板上制作天线图形,并在天线图形对应的区域刻蚀所述Si衬底形成介质空腔。本发明的集...
王天喜
罗乐
徐高卫
文献传递
一种基于BCB/Au制作集成射频贴片微带天线的方法
本发明涉及一种在硅基上基于BCB/Au的集成贴片天线的制作方法。其特征在于衬底硅上刻蚀深槽以增加介电材料厚度,从而增加天线带宽;槽中填充的材料与传输线的介电材料相同,均为低介电常数的BCB。制作工艺为:首先在硅基上刻蚀一...
王天喜
罗乐
徐高卫
汤佳杰
宋恩亮
文献传递
折叠槽天线结构及其制作方法
本发明提供一种折叠槽天线结构及其制作方法,通过在硅衬底上涂覆具有流动性的低介电常数的有机介电材料并固化作为天线的介质基板,在该基板上制作折叠槽天线图形,并在天线图形下方对应的区域刻蚀所述硅衬底形成介质空腔。介质空腔的刻蚀...
王天喜
罗乐
徐高卫
文献传递
折叠槽天线结构及其制作方法
本发明提供一种折叠槽天线结构及其制作方法,通过在硅衬底上涂覆具有流动性的低介电常数的有机介电材料并固化作为天线的介质基板,在该基板上制作折叠槽天线图形,并在天线图形下方对应的区域刻蚀所述硅衬底形成介质空腔。介质空腔的刻蚀...
王天喜
罗乐
徐高卫
文献传递
一种集成宽频带天线及其制作方法
本发明提供一种集成宽频带天线及其制作方法,通过在Si衬底上制作接地平面,在接地平面上制作具有流动性的有机介电材料并固化作为天线的基板,在该基板上制作天线图形,并在天线图形对应的区域刻蚀所述Si衬底形成介质空腔。本发明的集...
王天喜
罗乐
徐高卫
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基于聚酰亚胺和填充物腐蚀的湿度传感器结构改进及方法
本发明涉及一种基于聚酰亚胺和填充物腐蚀的湿度传感器结构改进及方法,其特征在于在电极板之间的聚酰亚胺层中填充材料后腐蚀制作出多孔薄膜,经光刻后a)沿电极板方向制作单个空腔;b)沿电极板方向制作多个空腔;c)垂直电极板方向制...
宁文果
罗乐
徐高卫
李珩
汤佳杰
陈骁
王天喜
韩梅
王双福
朱春生
叶交托
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