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殷海波

作品数：29 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信文化科学理学电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 24篇专利
  • 4篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 5篇电子电信
  • 5篇文化科学
  • 1篇经济管理
  • 1篇化学工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇理学

主题

  • 8篇金属有机物
  • 6篇托盘
  • 5篇温度均匀性
  • 5篇均匀性
  • 5篇MOCVD
  • 4篇流场
  • 4篇管路
  • 3篇气体
  • 3篇气源
  • 3篇进气
  • 3篇晶体
  • 3篇晶体质量
  • 3篇反应气体
  • 3篇GAN
  • 3篇MOCVD生...
  • 3篇掺杂
  • 3篇衬底
  • 3篇磁体
  • 2篇氮化镓
  • 2篇氮气

机构

  • 29篇中国科学院

作者

  • 29篇王晓亮
  • 29篇殷海波
  • 28篇肖红领
  • 15篇冉军学
  • 14篇李晋闽
  • 14篇姜丽娟
  • 14篇胡国新
  • 13篇张露
  • 9篇冯春
  • 6篇王权
  • 5篇李巍
  • 4篇王翠梅
  • 4篇崔磊
  • 1篇侯洵
  • 1篇杨翠柏

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 2篇2020
  • 5篇2017
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 3篇2014
  • 2篇2012
  • 2篇2011
  • 9篇2010
  • 2篇2008
共 29 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
源输送混合比可调气路装置
本发明提供了一种源输送混合比可调气路装置。该源输送混合比可调气路装置包括：载气主管路，其入口连接至载气源；M个气动阀门，其出口分别连接至薄膜沉积腔室中的M个生长位置；以及N路的源载气混合管路，对于该N路源载气混合管路中的...
王晓亮肖红领陈竑殷海波冯春姜丽娟
文献传递
一种基于电磁感应的加热装置
本发明提供了一种基于电磁感应的加热装置。利用在托盘周围放置导磁体，使托盘附近集中了绝大部分的磁力线，从而加热温度更高、加热速度更快；利用托盘中磁力线分布均匀，使温度均匀性更好；利用导磁体能够聚集磁力线、引导磁力线方向、减...
王晓亮梅书哲王权殷海波姜丽娟肖红领李巍
用于薄膜材料生长的感应加热装置
本公开提供了一种用于薄膜材料生长的感应加热装置，包括：托盘；以及感应线圈，设置于托盘下方，用于对托盘进行加热；其中，感应线圈为平面螺旋形，且包括p匝线圈：第1匝线圈为感应线圈的最内匝线圈，第p匝线圈为最外匝线圈，第m匝线...
王晓亮殷海波梅书哲王权徐健凯肖红领李巍姜丽娟
文献传递
密封传动装置
本发明提供了一种密封传动装置。该密封传动装置具有传动轴高度可调节功能，可以更好的控制薄膜沉积腔室内托盘与加热电阻丝的距离，从而选取最适合晶体外延生长的温区。
王晓亮崔磊肖红领殷海波冯春姜丽娟陈竑
文献传递
MOCVD生长GaN的数值模拟和喷淋式反应室结构优化
对喷淋式MOCVD反应室内的输运过程及GaN的材料生长进行了二维数值模拟研究。在模拟计算中,分别改变反应腔体几何形状、顶盘入气小孔分布方式等条件,得到反应室内流场、热场及薄膜沉积速率的相应变化。根据对模拟结果的分析,发现...
殷海波王晓亮冉军学胡国新肖红领王翠梅杨翠柏李晋闽侯洵
关键词：GANMOCVD数值模拟流场沉积速率
文献传递
加热托盘的固定控制装置及其设备
本发明公开了一种加热托盘的固定控制装置及其设备。其中，加热托盘的固定控制装置包括：旋转轴；螺旋加热丝，设置于旋转轴外围，与旋转轴之间存在间隔；托盘，位于旋转轴正上方；以及铁磁体，固定于托盘内，位于托盘中央区域。通过在旋转...
王晓亮梅书哲肖红领王权殷海波李巍姜丽娟
文献传递
用于金属有机化合物化学气相沉积设备反应室的进气顶盘
本发明提供了一种用于金属有机化合物化学气相沉积设备反应室的进气顶盘。该进气顶盘包括：上层进气盘和下层匀气盘，下层匀气盘为三层台阶盘体，在上层进气盘和下层匀气盘之间形成三个独立的进气腔-第一进气腔、第二进气腔和第三进气腔，...
王晓亮殷海波肖红领姜丽娟冯春
双异质氮化镓基场效应晶体管结构及制作方法
一种双异质氮化镓基场效应晶体管结构，包括：一衬底；一成核层制作在衬底上面；一Fe有意掺杂铝镓氮掺杂层制作在成核层上面；一非有意掺杂高质量铝镓氮外延层制作在Fe有意掺杂铝镓氮掺杂层上面；一非有意掺杂氮化镓沟道层制作在非有意...
王翠梅冯春王晓亮王权肖红领姜丽娟殷海波
文献传递
基于GaN基异质结构的二极管结构及制作方法
一种基于GaN基异质结构的二极管，包括：一衬底；一缓冲层，该缓冲层制作在衬底上；一异质结构势垒层，其制作在缓冲层上；与缓冲层形成二维电子气的异质结构外延层；一P型盖帽层，其制作在异质结构势垒层上，其两侧形成台面；一欧姆接...
康贺王晓亮肖红领王翠梅冯春姜丽娟殷海波崔磊
用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺
本发明公开了一种用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘的制作工艺，包括以下步骤：在纯度≥98％、平均粒径0.5μm以下、具有流动性的碳化硅微粉中添加烧结助剂，采用干式混合法形成混合物；采用干压成型工艺压制成型以形成坯体；对坯...
殷海波王晓亮胡国新冉军学肖红领张露李晋闽
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