梁峭
- 作品数:35 被引量:22H指数:3
- 供职机构:沈阳仪表科学研究院有限公司更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信文化科学更多>>
- 一种数字式压力传感器
- 一种数字式压力传感器,它包括压力敏感芯体、绝缘隔离板,其技术要点:该压力敏感芯体为圆柱结构,其一端为金属膜片,另一端为凹槽,凹槽底面设置有引脚,该引脚的另一端连接到信号电路板的焊盘上;凹槽底部还设置有带有导热孔的绝缘隔离...
- 崔可夫梁峭付文婷李斌李臻刘新
- 文献传递
- 一种高倍过载1KPa硅微压传感器芯片及制造方法
- 高倍过载1KPa硅微压传感器芯片及方法,其特征在于梁—单岛双面双片微结构:上芯片正面“I”形梁上“U”形压力敏感电阻,浅槽外周为铝电极引线及引线焊盘;上芯片背面,相对于浅槽部位,剩余膜片厚度与中心方形支撑相连,即为单硬芯...
- 徐淑霞张治国郑东明梁峭徐长伍唐慧张纯棣刘芙常伟陈琳
- 文献传递
- 一种微机械硅压力敏感芯片
- 一种微机械硅压力敏感芯片,现有技术的芯片敏感度与精确度较低,技术要点是:它以硅衬底为主体,在芯片表面设置有压力膜片,在压力膜片下有凹形硅杯,压力膜片上设置有压敏电阻;压敏电阻分为两段由P+连结区相连的电阻组成,压敏电阻通...
- 张治国郑东明李颖刘剑张哲梁峭祝永峰
- 文献传递
- 基于RS485通信的新型水深测量组件
- 2014年
- 以往的水深测量组件通常以模拟信号作为输出,但模拟信号存在抗干扰能力弱等缺陷,而数字信号可以弥补模拟信号的不足,数字化的传输与交换可以更好地融入计算机和互联网系统,实现产品的自动化和智能化。文中介绍的新型水深测量组件基于RS485串口通讯进行数据传输,通过约定的通讯协议与上位机进行通讯,具有传输速率高、传输距离远、抗噪声干扰能力强等优点,并且该组件通过选用适当的压力敏感芯体,即满足了产品分辨率的要求,又保证了产品承受高倍过载负荷的能力。
- 周磊孙海玮匡石梁峭
- 关键词:水深测量RS485通信
- 深度传感器的研制被引量:4
- 2009年
- 功能集成化和结构一体化逐渐成为新技术和新产品发展的主要趋势之一。深度传感器的研制就是通过技术创新,采用一体化结构设计,将压力传感器与机械式压力开关设计安装在同一压力腔体内,能同时感受动作压力并同时提供开关信号与深度信号。该传感器为某型号产品配套研制,其研制流程涉及多门学科相互交叉的综合技术。其整机经过严酷的环境试验考核,具有抗振动,耐冲击等特性。
- 梁峭孙海玮殷波常胜利
- 关键词:压力传感器
- 基于硅硅键合技术的高精度压力传感器的研究被引量:3
- 2017年
- 硅压阻压力传感器核心部件一般是由单晶硅和玻璃组成的微结构,由于单晶硅和玻璃的材料特性存在差异,在制造过程中会引入封装应力对传感器的性能产生不利影响。采用硅硅键合技术制造压力传感器核心部件的微结构,以同质材料替代异质材料实现器件的封装,可有效减少封装应力,提升压力传感器的性能。文中通过结合硅压阻压力敏感芯片的制造工艺和硅硅键合工艺,实现了敏感芯片与硅衬底间的硅硅键合,键合强度达到体硅强度。研制的差压型压力敏感芯片装配成传感器的零点温度漂移下降60%,静压误差下降约1个数量级。
- 李颖张治国郑东明梁峭张哲刘剑祝永峰
- 关键词:传感器
- 一种微机械硅压力敏感芯片
- 一种微机械硅压力敏感芯片,现有技术的芯片敏感度与精确度较低,技术要点是:它以硅衬底为主体,在芯片表面设置有压力膜片,在压力膜片下有凹形硅杯,压力膜片上设置有压敏电阻;压敏电阻分为两段由P+连结区相连的电阻组成,压敏电阻通...
- 张治国郑东明李颖刘剑张哲梁峭祝永峰
- 文献传递
- 数字式大过载比的共接口复合压力传感器
- 一种数字式大过载比的共接口复合压力传感器,其特征在于小量程和大量程压力传感器对称焊接在压力接口内,其上由支承块安装机械量开关,外环罩起并两端与压力接口和引线基座焊接,引线基座上部固定连接器,各传感器的导线引到电路盒;电路...
- 刘沁匡石梁峭孙海玮徐淑霞周磊陈学斌殷波
- 硅基压力传感器及其制造方法
- 硅基压力传感器及其制造方法,传感器由差压敏感器件、静压补偿单元、封装结构组成,差压敏感器件采用差动电容结构,其特征是从上到下依次由上玻璃固定极板、硅敏感芯片可动极板、下玻璃固定极板、玻璃底板、导压管封装而成;静压补偿单元...
- 李颖张治国刘剑张哲郑东明梁峭张娜祝永峰于子涵
- 文献传递
- 基于无线网络的智能压力传感器的系统设计与研究被引量:1
- 2013年
- 文中提出一种基于嵌入式、低功耗技术平台的具有温度补偿的智能传感器。通过对基于ZigBee和GSM/GPRS网络化相结合智能传感器的硬件结构和驱动软件的分析与开发,以及对相应的无线网络接口进行设计,实现了由智能传感器组成的无线传感器网络远程监控的目的。
- 金琦梁峭张哲王雪冰
- 关键词:无线网络压力传感器低功耗温度补偿