李勇滔
- 作品数：10 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信医药卫生更多>>
- 基于图像分析的SEM显微视觉自动聚焦技术研究被引量：3
- 2008年
- 为了快速准确地获取清晰的SEM显微图像,提出了一种基于图像分析的SEM显微视觉自动聚焦技术。该技术采用了两级清晰度评价函数的自动聚焦策略,首先利用基于灰度差分的评价函数对图像进行分析评价,然后以大步距遍历搜索函数峰值,直至第一次经过峰值;接着,再利用基于DCT(discrete cosine transformation)变换的评价函数来分析评价图像之后,以小步距进行局部搜索,直至搜索到清晰的SEM显微图像,完成SEM的自动聚焦。实验证明,该技术准确有效,具有较强的鲁棒性和实时性。
- 李勇滔韩立
- 关键词：SEM自动聚焦
- 基于小波变换的SEM自动聚焦技术
- 扫描电子显微镜（SEM）是用于观测微纳操作的理想仪器。为了快速准确地获取清晰的SEM显微图像,提出一种基于小波变换的SEM自动聚焦技术。首先,本技术采用基于具有较小分解层数的小波变换的图像清晰度评价函数对SEM显微图像进...
- 李勇滔韩立
- 关键词：自动聚焦小波变换
- 文献传递
- 基于SEM的压电式微纳操纵系统被引量：2
- 2010年
- 微纳操纵系统是当前先进制造技术领域的一个重要发展方向。为了实现在亚微米及纳米尺度下进行实时观测下的操纵,设计了一种基于扫描电镜(SEM)的压电式微纳操纵系统,本系统由数字式环境扫描电子显微镜系统、精密工件台、微纳操作机构、图形发生器和计算机系统组成,采用数字式环境扫描电子显微镜作为微纳操作的观测器,在SEM的样本室内安装微纳操作臂,计算机系统控制微纳操作臂,使其在SEM的实时观测下对放置在精密工件台上的样本进行操纵,并且还可利用图形发生器进行电子束曝光以制备微纳结构。实验证明,本系统不仅能适于在各种环境下进行微纳操纵,且还可制作微纳结构,具有很强的实用性。
- 李勇滔韩立殷伯华吴震刘俊标
- 关键词：压电电机
- 基于SEM的微纳操作系统自动作业技术研究
- 随着科学技术不断地向微观世界发展，各种微纳操作系统的研究日益活跃。基于SEM的微纳操作系统因其自身的显著优点而逐渐地成为执行微纳操作任务的主要工具。然而，要实现基于SEM的微纳操作系统自动作业，还需要探索和解决的如下关键...
- 李勇滔
- 关键词：扫描电子显微镜目标识别视觉伺服控制
- 以纳米生物医学为核心的多功能微纳尺度三维操作、表征及加工系统
- 韩东韩立殷伯华初明璋陈佩佩李勇滔谢家仪褚卫国郑咏梅葛广路薛虹
- 该项目针对纳米生物医学研究中亟待解决的技术关键，即生命单元纳米尺度原位表征、操纵及微加工的综合应用，发展了一整套以环境扫描电子显微镜为平台，具备高真空、低真空及环境扫描多种成像模式，在精确定位的基础上集形貌表征、物性测量...
- 关键词：
- 基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器设计被引量：2
- 2009年
- 基于激光干涉仪的精密工件台是电子束曝光机的关键设备。为了改进工件台控制器的运算速度,设计了一种基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器。本控制器由上位机接口、激光干涉仪测量系统接口、电机控制接口、手动面板接口和主处理器组成,以美国Xilinx公司Span-tan3系列的FPGA芯片XC3s400为核心,实现控制器与上位机、激光干涉仪测量系统、伺服驱动系统、手动控制面板之间的数据交换和指令传递,完成工件台的精确移动,满足电子束曝光的定位精度和拼接精度的要求。
- 李勇滔韩立薛虹殷伯华刘俊标
- 关键词：现场可编程门阵列电子束曝光
