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徐青芳
作品数:
16
被引量:2
H指数:1
供职机构:
武汉理工大学
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相关领域:
一般工业技术
建筑科学
电气工程
金属学及工艺
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合作作者
涂溶
武汉理工大学
章嵩
武汉理工大学
张联盟
武汉理工大学
吴磊
武汉理工大学材料科学与工程学院
谭昱
武汉理工大学材料科学与工程学院
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机构
16篇
武汉理工大学
作者
16篇
徐青芳
13篇
章嵩
13篇
涂溶
11篇
张联盟
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戴红莲
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杨梅君
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2015
1篇
2014
1篇
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一种二维三元过渡金属碳化物及其制备方法
本发明涉及一种二维三元过渡金属碳化物及其制备方法,所述二维三元过渡金属碳化物具有单晶结构,内部各种元素分布均匀,平面尺寸为10~100μm。本发明提供的二维三元过渡金属碳化物平面尺寸较大,具有单晶结构,且厚度及尺寸可通过...
章嵩
张翅腾飞
徐青芳
李宝文
涂溶
一种碳化硅薄膜的制备方法
本发明涉及一种立方碳化硅薄膜的制备方法,包括以下步骤:将清洗后的基板放入冷壁式激光化学气相沉积装置的基板座上,抽真空;通入适量氩气;打开激光照射基板表面,待基板温度升至设定沉积碳化硅薄膜的温度,并保持稳定;打开含有HMD...
章嵩
徐青芳
涂溶
张联盟
一种在石英玻璃表面沉积碳化硅涂层的方法
本发明涉及一种在石英玻璃表面沉积碳化硅涂层的方法,具体步骤如下:1)抽真空使沉积腔内压强降到10Pa以下;2)向沉积腔内通入氢气,调节沉积腔内压强为200~2000Pa,加载激光对石英玻璃表面进行刻蚀;3)将沉积腔内抽真...
章嵩
徐青芳
杨梅君
涂溶
张联盟
激光化学气相沉积法制备<111>-3C-SiC薄膜
3C-SiC因具有高耐热性(升华温度3000 K)、高硬度(莫氏硬度9.5级,仅次于金刚石)、高电子迁移率(1000 cm-2(V·s)-1)、高饱和电子漂移速率(2.7×107cm· s-1)等优良性能而被广泛应用。<...
徐青芳
关键词:
沉积速率
晶体缺陷
文献传递
一种高通量制备薄膜或涂层的方法
本发明涉及一种高通量制备薄膜或涂层的方法,在LCVD设备基础上加装光路控制系统,所述LCVD设备激光光源半径为r,所述加装光路控制系统包括沿激光入射方向设置的透镜组,激光通过透镜组在基板表面形成面积为S,半径为h的圆形束...
章嵩
刘子鸣
徐青芳
涂溶
张联盟
一种抗热震碳化硅纳米多孔涂层材料及其制备方法与应用
本发明涉及一种抗热震碳化硅纳米多孔涂层材料及其制备方法与应用,所述涂层材料下层为碳化硅纳米颗粒组成的致密层,上层为枝状碳化硅纳米晶须组成的多孔层,并且多孔层从底部到顶部碳化硅晶须逐渐增长,呈发散状态。本发明提供的碳化硅纳...
章嵩
王崇杰
徐青芳
涂溶
张联盟
文献传递
一种基于碳化硅/石墨烯材料的电化学传感器及其制备方法和应用
本发明提供一种基于碳化硅/石墨烯材料的电化学传感器及其制备方法和应用,所述电化学传感器采用三电极体系,以碳化硅/石墨烯材料修饰的硅电极为工作电极,饱和甘汞电极为参比电极,铂片电极为对电极;所述碳化硅/石墨烯材料修饰的硅电...
涂溶
李翠翠
徐青芳
章嵩
戴红莲
一种立方碳化硅薄膜的制备方法
本发明公开了一种立方碳化硅薄膜的制备方法,包括如下步骤:(1)将单晶硅基板放入冷壁式激光化学气相沉积装置的基板座上,抽真空,并设置基板座温度升至100~900℃;(2)将含HMDS的载流气通入反应器内,HMDS的流量为1...
章嵩
徐青芳
涂溶
张联盟
文献传递
一种CVD碳化硅材料的制备方法
本发明涉及一种CVD碳化硅材料的制备方法,包含如下步骤:将基板置于冷壁式化学气相沉积腔体中的加热台上,将真空度调至10Pa以下,预热基板,保温。以稀释气Ar将前驱体HMDS带入反应腔体,调节反应腔体压强(P<Sub>de...
涂溶
徐青芳
章嵩
张联盟
文献传递
激光化学气相沉积法制备立方碳化硅-石墨烯薄膜
立方碳化硅(3C-SiC)具有高电子迁移率、高导热率、宽禁带、耐高温、耐腐蚀及合成温度低等优异性能;石墨烯具有超高载流子迁移率及超高力学强度等奇特性能。本研究采用激光化学气相沉积法(LCVD)制备3C-SiC-石墨烯薄膜...
徐青芳
关键词:
石墨烯
激光化学气相沉积
电学性能
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