张家良
- 作品数：78 被引量：259H指数：11
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金辽宁省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学化学工程航空宇航科学技术机械工程更多>>
- 负粒子推力器
- 本发明实施例提供一种负粒子推力器。本发明推力器，包括：圆形基板、正电极、负电极、电磁线圈、引出栅和加速栅；所述正电极一端固定于所述基板上的凹槽内，另一端与所述引出栅连接，所述加速栅位于所述引出栅的另一侧，所述引出栅用于引...
- 夏广庆张家良吴志刚郝剑昆
- 大气压Ar射频容性放电模式转变的温度表征被引量：1
- 2011年
- 在大气压条件下Ar气流中实现了容性射频放电α和γ两种模式及其转变与共存.由于放电处于开放大气环境中,放电发射光谱中清晰地存在N2C3Πu→Β3Πg跃迁产生的第二正带和OH自由基Α2Σ→Χ2Π跃迁的(0,0)带光谱.为了获得放电区域的宏观温度,针对氮的第二正带(0,1),(1,2)两个谱带,自编了拟合程序,用温度拟合方法获得了氮分子的转动温度和振动温度,研究了转动温度随放电功率的变化趋势,得到了温度突变与放电模式转变的相关性.利用Lifbase的发射光谱模拟功能,进行了OH自由基Α2Σ→Χ2Π(0,0)带光谱的模拟,通过与实验光谱对比,得到了与N2光谱拟合结果相符的OH转动温度,以及相似的随放电功率的变化趋势,这说明放电空间内的中性物种达到了热平衡状态.根据放电伏安特性变化,放电模式转变对应的转动温度变化趋势得到确认,并且与放电形态的照片符合.
- 郭卿超张家良刘莉莹王德真
- 关键词：放电模式转动温度
- 脉冲电晕等离子体条件下甲烷偶联反应的机理
- 等离子体作用下甲烷反应机理的研究只有关于制膜方面的报道,而关于等离子体活化CH4转化制C2烃反应机理的研究尚未见报道。对于等离子体条件下CH1反应,一般的看法是自由基反应机理。为了探索和揭示CH4在等离子体作用下转化反应...
- 代斌陈韩飞李金平张家良宫为民
- 关键词：等离子体
- CH_4或CH_4+Ar介质阻挡放电中的离子能量和类金刚石膜制备被引量：11
- 2006年
- 实验上,利用纯CH4及CH4+Ar在几百帕量级气压下的介质阻挡放电制备类金刚石膜,研究了气压p与放电间隙d乘积(pd值)以及Ar的体积百分比RAr对膜硬度的影响.理论上,从离子与气体分子的双体碰撞出发,利用较高折合电场强度E/n(电场强度与粒子数密度之比)下离子及中性粒子速度分布的双温模型、离子在其他气体中运动时遵守的朗之万方程及离子在混合气体中运动时遵守的布兰克法则,对CH4+和Ar+离子能量进行了分析.结果表明:1)CH4介质阻挡放电中,pd值由1·862×103Pa mm降低至2·66×102Pa mm时,CH4+能量由5·4eV增加到163eV,类金刚石膜硬度由2·1GPa提高到17·6GPa;2)保持总气压p=100Pa,放电间距d=5mm不变,在CH4中加入Ar气,当RAr由20%增加至83%时,CH4+的能量由69eV增加到92eV,而Ar+能量由93eV降低至72eV.虽然CH4+能量增加有助于提高沉积膜硬度,但当RAr大于67%,高强度Ar+轰击会导致膜表面石墨化,膜硬度降低.为了验证离子能量理论模型的正确性,实验测量了H2介质阻挡放电中离子能量,测量结果与理论计算之间最大相对误差为16%.
- 刘艳红张家良王卫国李建刘东平马腾才
- 关键词：离子能量介质阻挡放电类金刚石膜
- 一种真空冷热冲击循环试验机
- 本发明属于试验设备技术领域，特指一种真空冷热冲击试验机，包括支架、控制器、感应电源，测温装置，真空室。支架上设有真空室架体，真空室，降温装置。真空室架体上有进气孔和抽气孔，可实现真空环境或者保护气下热冲击试验。真空室中设...
- 牟宗信李贺张家良刘升光
- 一种适用于脉冲等离子体诊断的静电三探针系统
- 本发明公开一种适用于脉冲等离子体诊断的静电三探针系统，包括：在电路设计中引入磁耦合，实现探针电流测量回路与探针驱动回路的电隔离，使探针电流测量部分可以与数据采集装置共地，而不影响探针驱动回路的可靠电悬浮，减小电路悬浮部分...
- 袁凤宝张家良杨楠楠桑宇航武佳
- 一种用于电推力器脉冲羽流速度测量的多模式TOF探针系统
- 本发明属于电推力器等离子体羽流诊断技术领域，涉及一种用于电推力器脉冲羽流速度测量的多模式TOF探针系统，是针对脉冲等离子体推力器产生的脉冲羽流的一种诊断技术。该TOF探针系统可以实现几种不同工作模式，能够对脉冲等离子体羽...
- 桑宇航张家良杨楠楠袁凤宝王尚民
- 直流辉光放电正柱区辉纹的形态演变被引量：1
- 2017年
- 本文采用石英放电管,在氮、氩和氦气中进行直流辉光放电,改变气压、气体流速和放电电流,正柱区可形成辉纹,且形态逐渐演变.为研究辉纹形态演变,使用可连拍工业相机获得辉纹区照片,通过照片亮度计算分析辉纹亮度分布特点及其变化.结果表明:正柱区辉纹均呈现良好空间周期性;同时,有些放电条件下,辉纹亮度呈现从阴极到阳极逐渐衰减的周期性.与两种惰性气体相比,氮气中的辉纹最为清晰.因此,以氮气辉纹为例,定量研究了辉纹形态(辉纹波长和衰减系数)随放电条件的演变,结果发现:辉纹波长与放电电流密度的对数值几乎呈线性关系;而与气压和气体流速的相关性更为复杂.与此类似,在不同气压和流速条件下,辉纹衰减系数随放电电流的变化趋势也相当一致.
- 温睿张淑娟张明华张家良
- 关键词：直流辉光放电发光亮度
- 大气压等离子体辅助多晶硅薄膜化学气相沉积参数诊断被引量：3
- 2010年
- 本文采用发射光谱法诊断了大气压下Ar气、SiCl4及H2气混合气体(Ar/SiCl4/H2)射频放电等离子体射流特性.利用Si原子谱线强度计算了电子激发温度并以此估算了Si原子数密度,研究了射频功率及气体流量对电子激发温度和Si原子数密度以及SiCl4解离率的作用.
- 刘莉莹张家良郭卿超王德真
- 关键词：发射光谱电子激发温度
- 同轴介质阻挡放电发生器介质层等效电容和负载特性研究被引量：9
- 2014年
- 大气压介质阻挡放电(DBD)可以在常压下产生非平衡等离子体,已经成为热点研究领域.通过脉冲或交变电源激发放电,研究电源输出特性、电源与放电发生器负载间的匹配和外界条件对放电的影响对于理解放电现象和提高放电效率具有重要意义.本文采用Lissajous图形法,分别研究了驱动电压、气流速率等因素影响同轴DBD发生器介质层等效电容及负载幅频特性的规律.结果表明,气流速率和驱动电压等外界条件影响DBD发生器的负载特性:介质层等效电容随气流速率增大而减小,随驱动电压增大而增大;幅频特性曲线均表现出RLC回路谐振现象,谐振频率随气流速率增大而增大,随驱动电压增大而减小.通过对比发现,介质层等效电容随频率的变化曲线与幅频特性曲线具有一致的特征,介质层等效电容是影响电路谐振频率动态变化的主要因素.提出了一种有关介质层等效电容的形成机制.
- 赵凯牟宗信张家良
- 关键词：介质阻挡放电负载特性阻抗匹配等离子体
