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宋兴亮

作品数：81 被引量：19H指数：3
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信轻工技术与工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 71篇专利
  • 7篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 12篇电子电信
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 78篇激光
  • 57篇激光器
  • 26篇准分子
  • 26篇分子
  • 25篇准分子激光
  • 25篇分子激光器
  • 22篇准分子激光器
  • 14篇线宽
  • 12篇气体激光
  • 12篇气体激光器
  • 12篇光学
  • 11篇谐振腔
  • 10篇相干
  • 9篇功率放大
  • 8篇偏振
  • 8篇放大系统
  • 7篇激光输出
  • 7篇光输出
  • 7篇放电
  • 6篇双腔

机构

  • 81篇中国科学院光...
  • 3篇中国科学院研...
  • 3篇中国科学院大...
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 81篇宋兴亮
  • 72篇周翊
  • 62篇沙鹏飞
  • 61篇赵江山
  • 59篇李慧
  • 57篇范元媛
  • 46篇王宇
  • 44篇单耀莹
  • 37篇蔡茜玮
  • 36篇彭卓君
  • 35篇王倩
  • 33篇鲍洋
  • 28篇张立佳
  • 23篇崔惠绒
  • 14篇丁金滨
  • 7篇翟晔
  • 5篇石海燕
  • 3篇吴月婷
  • 2篇刘广义
  • 2篇徐子超

传媒

  • 2篇红外与激光工...
  • 1篇量子电子学报
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇中国激光
  • 1篇光子学报
  • 1篇激光与红外

年份

  • 1篇2019
  • 7篇2018
  • 5篇2017
  • 16篇2016
  • 17篇2015
  • 10篇2014
  • 20篇2013
  • 2篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇2009
共 81 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种激光相干长度的调控装置和激光器
本发明公开了一种激光相干长度的调控装置，用于调控激光器的激光相干长度，所述激光器包括输出耦合镜、增益介质和线宽压窄模块，该调控装置包括标准具、分光片、相干长度检测元件和相干长度反馈控制系统，分光片用于将所述激光器输出的激...
范元媛周翊赵江山李慧崔惠绒沙鹏飞王倩宋兴亮张立佳蔡茜玮鲍洋
文献传递
控制激光器系统的有效工作温度的方法和装置
本发明公开了一种控制激光器系统有效工作温度的方法和装置，所述激光器系统主要包括气体高压放电腔体，该放电腔体在气体高压放电工作过程中产生热量，所述方法包括如下步骤：在激光器系统的开机过程中，对激光器系统的放电腔体进行预加热...
赵江山李慧沙鹏飞宋兴亮鲍洋彭卓君周翊王宇
文献传递
20W 4kHz ArF曝光光源研发与应用
王宇周翊赵江山梅东滨杨军红丁金滨徐向宇沙鹏飞宋兴亮刘斌冯泽斌李慧范元媛鲍洋崔惠绒
中国高端集成电路（IC）产业严重受限于落后的光刻制造装备技术和产业，2016年进口约2271亿美元，制约了中国电子信息产业的升级，成为重大的国家安全隐患。2008年中国启动了科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工...
关键词：
激光器种子光注入锁定放大系统和功率放大腔
本实用新型公开了一种激光器种子光注入锁定放大系统和功率放大腔，功率放大腔(3)包括入射端和出射端，入射端用于入射由主谐振腔(2)出射的种子光，出射端用于出射由功率放大腔(3)对种子光进行功率放大后的激光，功率放大腔(3)...
沙鹏飞丁金滨赵江山彭卓君宋兴亮李慧鲍洋周翊王宇
文献传递
一种采用MOPA结构的气体激光器放大系统
本发明公开了一种采用MOPA结构的气体激光器放大系统，包括主振荡腔(MO)、功率放大腔(PA)、线宽压窄模块(LNM)、输出耦合器(1)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)，气体激光器放大系统还包括第三反射镜(6)和第四...
沙鹏飞单耀莹丁金滨赵江山彭卓君宋兴亮李慧鲍洋周翊王宇
文献传递
一种光谱控制装置
本发明是关于一种应用于主振荡功率放大双腔结构准分子激光器的光谱控制装置,其包括两级线宽压窄模块,其中第一级线宽压窄模块与输出耦合装置作为两个端镜分别设置于激光放电腔的两端,并与输出耦合装置及激光放电腔构成准分子激光器的主...
赵江山单耀莹李慧沙鹏飞宋兴亮王倩蔡茜玮
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一种测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器
本发明公开了一种精确测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器，包括：由再涂覆后的光纤光栅传感头(1)、连接在光纤光栅传感头(1)一端的传输光纤(2)，以及充满不锈钢管(5)内部的导热胶(3)组成的光纤光栅传感元；可...
范元媛沙鹏飞宋兴亮赵江山李慧鲍洋周翊王宇
文献传递
ArF准分子激光复合腔技术研究
由于准分子激光波长短、光子能量高，且常规材料对位于紫外波段的激光辐射具有较高吸收率，因此准分子激光在集成电路光刻、精密微细加工及医疗等领域被广泛应用。窄线宽、大能量的输出是准分子激光技术发展的重要目标。本文结合线宽压窄技...
周翊范元媛宋兴亮
一种分立式气体激光器
本发明公开了一种分立式气体激光器，包括激光放电系统、气动流场系统和温控系统，所述激光放电系统用于实现高压气体放电过程以形成激光辐射；所述气动流场系统用于为所述激光放电系统产生高速气体流场；所述温控系统用于控制所述激光放电...
赵江山李慧沙鹏飞宋兴亮单耀莹蔡茜玮彭卓君
文献传递
基于标准具控制激光光谱及相干长度的调控装置和激光器
本实用新型公开了一种基于标准具控制激光光谱及相干长度的调控装置和激光器，所述包括激光器包括输出耦合镜、增益介质和线宽压窄模块，该装置包括法布里‑珀罗标准具、分光片、相干长度检测元件和相干长度反馈控制系统，分光片用于将所述...
范元媛周翊赵江山李慧崔惠绒沙鹏飞王倩宋兴亮张立佳蔡茜玮鲍洋
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