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周时禹

作品数：4 被引量：1H指数：1
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇仪器装备
  • 2篇原位
  • 2篇实时检测
  • 2篇视觉系统
  • 2篇微纳加工
  • 2篇控制系统
  • 2篇基底
  • 1篇仪器
  • 1篇约束刻蚀剂层...
  • 1篇数字锁相
  • 1篇数字锁相放大...
  • 1篇锁相
  • 1篇锁相放大
  • 1篇锁相放大器
  • 1篇系统设计
  • 1篇刻蚀
  • 1篇放大器

机构

  • 4篇上海交通大学

作者

  • 4篇周时禹
  • 3篇赖磊捷
  • 3篇朱利民
  • 3篇谷国迎

传媒

  • 1篇机电一体化

年份

  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
约束刻蚀剂层微纳加工仪器的设计与开发
随着科技的发展,现代制造日益趋向功能集成化、外形微小化和超精密化方向发展。面向精密微机电器件的微纳加工技术已经成为国内外研究机构的研究热点。微纳加工技术决定了微机电器件的加工精度和表面质量,已成为衡量一个国家制造业水平的...
周时禹
关键词：约束刻蚀剂层技术系统设计
基于数字锁相放大器的原点检测技术
2013年
针对微纳加工中原点检测精度低的问题,提出了一种基于数字锁相放大器的新型原点检测技术。通过微力传感器检测基底与模板之间的接触力,并添加了激振器模块和数字锁相放大模块。激振器模块使用参考正弦信号驱动基底按一定频率振动,同时将测得的微弱接触力信号经过数字锁相放大模块与参考信号进行相关计算,提取接触力振幅以实现接触检测。实验结果表明,该方法消除了温漂等外部干扰对接触检测带来的影响,能够达到纳米级的零位检测精度。
周时禹赖磊捷谷国迎朱利民
关键词：数字锁相放大器微纳加工
微纳仪器装备中模板快速逼近和原位检测装置及方法
本发明涉及一种微纳仪器装备中模板快速逼近和原位检测装置，包括：固定机架、宏动平台、微动平台、微力检测装置、加工槽、视觉系统和控制系统，宏动平台连接至固定机架，微动平台与宏动平台连接，微力检测装置与微动平台连接，检测模板和...
朱利民赖磊捷周时禹谷国迎
文献传递
微纳仪器装备中模板快速逼近和原位检测装置及方法
本发明涉及一种微纳仪器装备中模板快速逼近和原位检测装置，包括：固定机架、宏动平台、微动平台、微力检测装置、加工槽、视觉系统和控制系统，宏动平台连接至固定机架，微动平台与宏动平台连接，微力检测装置与微动平台连接，检测模板和...
朱利民赖磊捷周时禹谷国迎
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