刘梅
- 作品数：3 被引量：17H指数：1
- 供职机构：南京电子器件研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- SOI基双线振动式MEMS陀螺仪的工艺研究
- SOI-MEMS惯性器件是基于SOI(Silicon-on-insulator)衬底的MEMS惯性器件，具有寄生电容小、噪声低、信噪比高、灵敏度优越、体积小、易批量等优点，在国外已广泛应用并实现商用化，如美国AD公司、T...
- 吴璟刘梅贾世星朱健卓敏
- 关键词：陀螺仪单晶硅惯性器件压力传感器
- 文献传递
- 一种二阶互补滤波与卡尔曼滤波的姿态解算方法设计被引量：16
- 2018年
- AHRS系统中通常采用针对MEMS加速度计与磁强计融合姿态角和陀螺仪输出数据进行Kalman滤波的方法,但是这种方法中MEMS加速度计与磁强计基于MARG方法融合要求载体处于静态状态,否则会出现线加速度带来误差。提出一种互补滤波与卡尔曼滤波结合的方法对航姿参考系统进行姿态解算,用自制AHRS硬件平台进行静态与动态测试。实验表明:这种方法在静态条件下可有效抑制漂移噪声,在动态条件下可提高姿态角解算精度。
- 黄镇张浩磊刘梅朱健
- 关键词：卡尔曼滤波
- MEMS滤波器装配过程中硅通孔接地失效分析被引量：1
- 2020年
- 研究了交指型MEMS滤波器硅通孔在装配使用中的接地失效。针对滤波器硅通孔接地失效的两种主要失效模式,分析了失效原因,建立了导电胶填充硅通孔装配过程的有限元分析模型并进行了仿真,发现导电胶填充高度接近硅通孔上边沿时,通孔受到的热应力最大,热应变最严重。通过装配后产品的温度应力试验,验证了仿真结果。给出了加强硅通孔金属化前清洗工艺的质量控制要求,提出了MEMS滤波器装配过程中导电胶填孔高度不得超过1/2的装配建议。
- 吴静刘梅禹淼胡玉华杜国平
- 关键词：可靠性
