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伍水平

作品数：4 被引量：6H指数：1
供职机构：中南大学更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信理学电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文
  • 1篇专利

领域

  • 3篇一般工业技术
  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇理学

主题

  • 3篇溅射
  • 3篇磁控
  • 3篇磁控溅射
  • 1篇导电薄膜
  • 1篇电阻率
  • 1篇氧分压
  • 1篇氧化钒
  • 1篇氧化钒薄膜
  • 1篇氧化锌薄膜
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇舌侧
  • 1篇透明导电
  • 1篇透明导电薄膜
  • 1篇相组成
  • 1篇磨牙
  • 1篇晶体
  • 1篇晶体结构
  • 1篇就位
  • 1篇扩弓

机构

  • 4篇中南大学
  • 2篇湖南三才光电...

作者

  • 4篇伍水平
  • 1篇卢燕勤
  • 1篇牛仕超
  • 1篇魏秋平
  • 1篇余志明

传媒

  • 1篇真空
  • 1篇中国真空学会...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2007
  • 2篇2006
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种种植钉扩弓器
本发明公开了一种种植钉扩弓器，包括扩撑结构和铸造舌侧板，二者经支撑臂相连，支撑臂的中段向外延伸设有连接环，连接环内穿设有种植钉，连接环与种植钉之间的间隙内设有可拔除的保护套，且与铸造舌侧板相连的牙齿包括尖牙、前磨牙和/或...
卢燕勤许钰涵刘焱萍程岘伍水平
磁控溅射法制备氧化钒薄膜的相组成研究
本文用直流磁控溅射法来制备氧化钒薄膜。通过改变氧分压强、溅射功率、沉积时间和衬底材料来获得不同相组成的氧化钒薄膜。用X射线对薄膜进行了结构分析。研究结果表明:薄膜的相组成对氧分压十分敏感,其相成分中钒的价态随氧分压的升高...
伍水平余志明彭传才方梅陈爽
关键词：磁控溅射氧化钒相组成
文献传递
掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备与性能研究
本文在讨论搀杂氧化锌透明导电薄膜优异性能的基础上，对氧化锌薄膜的晶体结构、搀杂、制备方法和用途进行了综合分析。采用直流磁控溅射法，在玻璃基底上制备了掺Al氧化锌(ZAO)薄膜和在聚酯(PET)柔性基底上制备了掺Ga氧化锌...
伍水平
关键词：透明导电薄膜磁控溅射电阻率氧化锌薄膜晶体结构
文献传递
基底温度和氧分压对直流磁控溅射制备的ZnO∶Al薄膜性能的影响被引量：6
2006年
利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO:A l(ZAO)透明导电薄膜。详细研究了沉积时的基片温度、氧分压强对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明:ZAO薄膜具有六角纤锌矿结构且呈c轴择优取向,晶粒垂直于衬底方向柱状生长;衬底温度和氧分压对薄膜的电阻率有很大影响;基底温度对薄膜的可见光透过率影响不大,但随氧分压的增大而增大;在衬底温度为250℃、氧分压为1%时,薄膜有最优化的电阻率和平均透光率,分别达到8.35×10-4Ω.cm和85.2%。
余志明伍水平魏秋平牛仕超彭传才李京增魏敏
关键词：ZAO薄膜氧分压直流磁控溅射
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