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伍志军

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇软X射线
  • 1篇太阳
  • 1篇镍网
  • 1篇滤光片
  • 1篇X-射线

机构

  • 2篇中国科学院长...
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 2篇伍志军
  • 1篇李加东
  • 1篇张贵彦
  • 1篇缪同群

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
软X射线滤光片制作工艺研究
本文对软X射线滤光片的制作工艺进行了研究，利用镀膜、MEMS、有机聚合物成膜等工艺实现了滤光片的制作。软X射线滤光片是利用薄金属膜具有透过真空紫外和软X射线而又能滤掉红外、可见甚至紫外辐射的特性来达到滤波作用的光学器件，...
伍志军
关键词：软X射线
软X-射线滤光片支撑镍网的设计及制作工艺研究
2010年
介绍了软X-射线滤光片支撑栅网的工作原理及其制作工艺,以金属镍为结构材料,采用了微机电系统(MEMS)技术中的电镀工艺及剥离工艺,讨论了制作工艺中的难点,最后成功制作了网面平整、网线匀称、表面光亮、应力小、厚度均匀的镍网,该镍网厚14μm,栅线间隔36.3μm,透过率80%。
伍志军李加东张贵彦缪同群
关键词：滤光片
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共1页<1>
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