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一种垂直运动精密微定位平台的设计与分析被引量：7: 2016年; 根据桥式放大机构和平行四边形导向机构相结合设计了一种新型的垂直运动精密微定位平台。利用卡式定理推导了微定位平台的最大行程、刚度及放大比,利用拉格朗日方程推导了微定位平台的动力学模型及其固有频率。采用有限元仿真软件分析微定位平台的动静力学特性,并与理论分析结果进行对比,两者结果吻合良好。制造了微定位平台的原型样机,并进行了实验验证,实验结果表明:垂直运动精密微定位平台的行程可达112.9μm,闭环分辨率为10 nm,可以用于显微镜聚焦系统的微调等垂直定位精度较高的场合。; 徐骁任佳琦朱晓博刘品宽; 关键词：柔性铰链压电陶瓷驱动器微定位

基于谐振式悬臂梁的压电-电磁复合俘能技术研究: 随着MEMS系统及便携式微电子产品在军事及民用领域的广泛应用，如何更好地向其供能成为了亟待解决的问题。传统的化学电池由于存在寿命有限、需定期更换、污染环境等缺点使其越来越不能满足应用的需求。因此，人们将目光投向了对从环境...; 任佳琦; 关键词：发电性能功率输出有限元仿真; 文献传递

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任佳琦