陶虎
- 作品数：15 被引量：15H指数：3
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于微加工技术的电荷感应式微型电场传感器的研究
- 陶虎
- 关键词：电场传感器微加工技术计算机模拟微弱电流检测
- 交错振动式微型电场传感器
- 介绍一种由基底、感应电极、屏蔽电极和驱动结构组成的新型微型电场传感嚣。与其他微型传感器相比,该传感器采用独特的交错振动的工作方式,显著地提高了传感器感应电场的能力和稳定性。传感器采用压电陶瓷制作驱动结构,可以在较低的驱动...
- 龚超陶虎白强陈绍凤夏善红
- 关键词：电场传感器微机电系统有限元
- 文献传递
- 交错振动式微型电场传感器
- 本文介绍一种由基底、感应电极、屏蔽电极和驱动结构组成的新型微型电场传感器.与其他微型传感器相比,该传感器采用独特的交错振动的工作方式,显著地提高了传感器感应电场的能力和稳定性.传感器采用压电陶瓷制作驱动结构,可以在较低的...
- 龚超陶虎白强陈绍凤夏善红
- 关键词：电场传感器微机电系统有限元
- 文献传递
- 两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用被引量：2
- 2006年
- 设计并制备出两种新型电热驱动微型静电场传感器.一种利用了V型梁阵列作为驱动结构,另一种引入了位移放大机构.针对传感器的弱电流输出信号,建立了基于锁相放大器的测试系统对两种传感器的输出信号进行检测.测试结果表明,两种传感器都具有线性的输出特性,且带有位移放大机构的电场传感器具有更高的灵敏度.
- 叶超陈贤祥彭春荣陶虎夏善红
- 关键词：电场传感器
- 静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器
- 研制了一种基于静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器。利用相关检测原理对谊传感器进行了测试,测试结果表明,在外电场强度为0.5×105-25×105V/m范围内,传感器的输出特性基本满足线性关系,灵敏度可达到0.53μV...
- 彭春荣龚超陈贤祥陶虎白强罗蕾夏善红
- 关键词：微型电场传感器差分检测
- 文献传递
- 圆形梳齿式微型电场传感器
- 一种圆形梳齿式微型电场传感器，包括：梳状固定电极(1)和梳状屏蔽电极(2)沿振动方向间隔分布在圆周上；在梳状屏蔽电极(2)上开有栅孔(4)；感应电极(3)放置在栅孔(4)下面。本发明的传感器工作时采用梳齿式驱动来实现屏蔽...
- 夏善红陶虎
- 文献传递
- 铰链式多维电场传感器
- 一种铰链式多维电场传感器，包括驱动部分和感应部分，其特征在于所述感应部分包括屏蔽电极(3)、感应电极(4)、铰链(5)和基座(6)，所述感应电极(4)安装在基座(6)上，屏蔽电极(3)通过铰链(5)安装在基座(6)上。本...
- 夏善红陶虎
- 文献传递
- 交错振动式电场传感器
- 本发明是一种交错振动式微型电场传感器，包括基底1，感应电极2，屏蔽电极3，驱动结构4，外壳5。感应电极2和屏蔽电极3边缘有处于交错状态的梳齿。当屏蔽电极3表面凸出于感应电极2的表面时，感应电极2表面感应电荷较多；当屏蔽电...
- 夏善红龚超陶虎白强陈绍凤
- 文献传递
- 一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造被引量：5
- 2006年
- 一种新型的,以压电陶瓷条为驱动、硅为屏蔽和感应电极的微型电场传感器。此种传感器利用了新型的电场感应模式,采用微加工技术制造,使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低。本文阐述了此种传感器的工作原理,并通过计算机模拟验证了可行性,同时描述了新型传感器的结构设计和加工工艺过程。实验数据表明,新型电场传感器的分辨率达到250 V/m。
- 陶虎彭春荣陈贤祥白强陈绍凤夏善红
- 关键词：电场传感器微加工技术压电陶瓷
- 多驱动电极垂直限幅振动式微型电场传感器被引量：1
- 2005年
- 设计了一种具有四个驱动电极和独特支撑结构并基于 MEMS技术制作的微型电场传感器。该传感器的四个驱动电极具有完全相同的形状,在使用时可以将其中的两个用作驱动,另外两个作为振动检测电极,监控振动情况。传感器的支撑结构可以限制振动幅度,使传感器在脉冲信号驱动下也能稳定工作。因此该电场传感器除了具备其它微型电场传感器的优点以外,还可以根据应用场合的需要选择不同的驱动模式。从而可以根据具体应用的要求,使用较简单的测试系统减轻重量,或使用较复杂的测试系统提高测试的精度和稳定性。本文介绍了此种传感器的结构,工作原理以及三种不同的驱动模式的实现方法,并讨论了不同模式的应用场合。
- 龚超邓凯陶虎白强陈绍凤夏善红
- 关键词：电场传感器微机电系统
