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陶亦涵

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇电桥
  • 2篇电阻
  • 2篇品质因数
  • 2篇驱动电阻
  • 2篇微悬臂
  • 2篇谐振
  • 2篇谐振式

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇许鹏程
  • 2篇李昕欣
  • 2篇于海涛
  • 2篇熊斌
  • 2篇陶亦涵
  • 2篇徐铁刚

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法
本发明提供一种平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法。其中，所述微悬臂梁结构包括：悬臂梁区、连接在所述悬臂梁区一侧的质量块区、及连接在所述悬臂梁区另一侧的参考电阻区，其中，所述悬臂梁区包括：相互分离的主悬臂梁、驱动微...
陶亦涵于海涛许鹏程徐铁刚熊斌李昕欣
平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法
本发明提供一种平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法。其中，所述微悬臂梁结构包括：悬臂梁区、连接在所述悬臂梁区一侧的质量块区、及连接在所述悬臂梁区另一侧的参考电阻区，其中，所述悬臂梁区包括：相互分离的主悬臂梁、驱动微...
陶亦涵于海涛许鹏程徐铁刚熊斌李昕欣
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