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陈瑶

作品数：16 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇中文专利

主题

  • 8篇等离子体
  • 6篇离子注入
  • 5篇特性参数
  • 5篇注入机
  • 4篇离子
  • 3篇等离子
  • 3篇等离子体特性
  • 3篇电子密度
  • 3篇微电子
  • 3篇控制装置
  • 3篇半导体
  • 2篇导体
  • 2篇等离子体浸没...
  • 2篇电场
  • 2篇电场分布
  • 2篇电荷量
  • 2篇压片
  • 2篇永磁
  • 2篇永磁铁
  • 2篇真空系统

机构

  • 16篇中国科学院微...

作者

  • 16篇夏洋
  • 16篇陈瑶
  • 16篇李超波
  • 13篇汪明刚
  • 13篇赵丽莉
  • 13篇刘杰
  • 7篇李勇滔
  • 3篇屈芙蓉
  • 2篇刘传钦

年份

  • 1篇2016
  • 4篇2013
  • 5篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
  • 1篇2009
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于等离子体浸没注入剂量检测的法拉第装置
本发明公开了一种用于等离子体浸没注入剂量检测的法拉第装置，该装置包括一个用于将收集到的离子流转化成电信号的法拉第杯和一个为该法拉第杯安装提供支撑的保护环。法拉第杯由杯身和杯口构成，杯身具有三层结构，在电性上分别是外导电层...
汪明刚刘杰夏洋李超波陈瑶赵丽莉
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一种等离子体浸没注入装置
本发明涉及半导体处理技术和设备领域，具体涉及一种等离子体浸没注入装置，包括气源、功率源、工作腔室、基片台和真空系统，所述基片台上方设有栅电极。本发明通过在现有装置中增加栅电极，使基片台上方特别是基片上方的电场分布变成了两...
汪明刚夏洋李超波刘杰李勇滔陈瑶赵丽莉
等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置
本发明公开了一种等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置，属于微电子技术领域。所述装置包括用于诊断等离子体离子密度、电子密度、等离子体电势与等离子体电子温度等特性参数的诊断单元；用于获得等离子体中粒子组分和各组分粒子...
汪明刚刘杰夏洋李超波陈瑶赵丽莉李勇滔
半导体腔室用压片装置
本发明公开了一种半导体腔室用压片装置包括反应腔室、压片架和载片机构；所述压片架设置在所述反应腔室的上半部；所述反应腔室设置有腔室内衬，所述腔室内衬与所述压片架连接；所述载片机构设置在所述压片架下端。本发明提供的导体反应腔...
李超波屈芙蓉陈瑶刘传钦夏洋
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在等离子体浸没离子注入中对不同质量离子分离的装置
本发明公开了一种在等离子体浸没离子注入中对不同质量离子分离的装置，该装置包括球形腔室、基片台、球形腔室内的高频电场和球形腔室内的恒定磁场，其中：球形腔室由两个对称的D形电极构成，该两个D形电极直边重合、上下叠加，且在连接...
刘杰汪明刚夏洋李超波陈瑶赵丽莉
一种等离子体浸没注入装置
本发明涉及半导体处理技术和设备领域，具体涉及一种等离子体浸没注入装置，包括气源、功率源、工作腔室、基片台和真空系统，所述基片台上方设有栅电极。本发明通过在现有装置中增加栅电极，使基片台上方特别是基片上方的电场分布变成了两...
汪明刚夏洋李超波刘杰李勇滔陈瑶赵丽莉
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等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置
本实用新型公开了一种等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置，属于微电子技术领域。所述装置包括用于诊断等离子体离子密度、电子密度、等离子体电势与等离子体电子温度等特性参数的诊断单元；用于获得等离子体中粒子组分和各组分...
汪明刚刘杰夏洋李超波陈瑶赵丽莉李勇滔
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等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置
本发明公开了一种等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置，属于微电子技术领域。所述装置包括用于诊断等离子体离子密度、电子密度、等离子体电势与等离子体电子温度等特性参数的诊断单元；用于获得等离子体中粒子组分和各组分粒子...
汪明刚刘杰夏洋李超波陈瑶赵丽莉李勇滔
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采用非自限制生长机理沉积纳米叠层复合薄膜的方法
本发明公开了一种采用非自限制生长机理沉积纳米叠层复合薄膜的方法，该方法包括：步骤1、向反应室中引入第一类前驱物，以非自限制的方式沉积第一层薄膜；步骤2、排空第一类前驱物；步骤3、向反应室中引入第二类前驱物，以非自限制的方...
李超波夏洋汪明刚刘杰陈瑶赵丽莉
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半导体腔室用压片装置
本发明公开了一种半导体腔室用压片装置包括反应腔室、压片架和载片机构；所述压片架设置在所述反应腔室的上半部；所述反应腔室设置有腔室内衬，所述腔室内衬与所述压片架连接；所述载片机构设置在所述压片架下端。本发明提供的导体反应腔...
李超波屈芙蓉陈瑶刘传钦夏洋
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