钟俊
- 作品数:5 被引量:43H指数:3
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金:吉林省科技厅资助项目吉林省科技发展计划基金吉林省科技厅科技发展计划项目更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术理学机械工程电子电信更多>>
- 高精度激光位移传感器的研制
- 朱万彬粱静秋曲峰莫仁芸陈璇钟俊于明杨飞宇曹世豪李英志孙野阚卓娜
- 该项目主要针对于工业自动化位移测量及形状检测领域,其技术原理为利用光学三角法将光源发出的光束投射到被测物体表面,物面的部分散射光由光学系统接收到达光电探测器,当被测物沿着光源入射方向移动时,投射到探测器上的光点位置也会发...
- 关键词:
- 关键词:激光位移传感器激光器
- 激光位移传感器在角度测量中的应用被引量:10
- 2010年
- 激光位移传感器因其较高的测量精度和非接触测量特性,可应用在很多方面,将其用在测量工件的角度上能够实现角度的高精度测量。通过步进电机带动激光位移传感器扫描二面角的2个面,然后对测量的数据采用Matlab程序做最小二乘拟合,得到二面角两边的斜率,从而求出角度。实验中采用的位移传感器分辨率为0.3μm,导轨和步进电机重复定位精度高于3μm,则测量角度的精度高于1″。
- 朱万彬钟俊莫仁芸
- 关键词:激光位移传感器最小二乘拟合
- 光谱共焦位移传感器物镜设计被引量:28
- 2010年
- 高精度非接触式位移传感器有着广泛的应用。本文讨论其中一种采用光学方法实现非接触测量的光谱共焦位移传感器,阐述该传感器的工作原理,给出了该系统的设计方法和评价方法。最后基于光学设计软件CODEV的宏语言和数学软件MATLAB设计出了一个测量范围为0~1.173mm的光谱共焦位移传感器物镜。该物镜采用一个单透镜和双胶合透镜组合的结构,在工作波长范围内,各个单波长对应最大的RMS半径为2.8μm,其测量精度优于5μm,波长离焦量和波长之间线性度通过线性回归拟合得出判定系数为0.9859,测量的线性度优异。
- 朱万彬钟俊莫仁芸陈璇
- 关键词:位移传感器共焦光学设计色差
- 光学薄膜厚度实时监测系统的研究与实现
- 光学薄膜实时监控精度决定了所镀制的光学薄膜的厚度精度。随着工业的发展,对所镀膜层的厚度精度要求越来越高,特别是通信领域所用的窄带滤光片,其带宽要求通常小于1nm,它需要镀制几十层高低折射率材料。如果采用晶控等监控光学薄膜...
- 钟俊
- 关键词:FOURIER级数极值点
- 文献传递
- 激光位移传感器的光学系统设计被引量:6
- 2010年
- 针对目前国内自主研制的激光位移传感器精度低,测量范围小等问题,提出了一种采用光学设计软件预先仿真整个激光位移传感器光学系统的方法。在分析系统各部分的光学特性的基础上,结合具体要求设计了一个激光位移传感器的光学系统,其工作范围为(50±10)mm。采用系统分割的方法,将整个光学系统分为两部分进行设计,第一部分是激光束的整形透镜,要求在有效的工作范围内得到小而均匀的出射光斑,设计结果表明,在测量范围内,光斑大小能够控制在10-1mm量级;另一部分是被测面散射光接收的成像物镜,该系统的特点是物面和像面相对于光轴都有一定的角度,实验结果表明其成像满足Scheimpflug条件。
- 莫仁芸朱万彬钟俊陈璇
- 关键词:激光位移传感器激光三角法光学设计