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贾冬义
作品数:
3
被引量:24
H指数:2
供职机构:
中国科学院光电研究院
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相关领域:
化学工程
理学
电子电信
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合作作者
赵玲利
中国科学院光电研究院
王守国
中国科学院光电研究院
钟少锋
中国科学院光电研究院
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作者
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贾冬义
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1篇
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赵玲利
传媒
1篇
高分子材料科...
年份
1篇
2008
1篇
2006
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聚四氟乙烯低温等离子体表面改性与粘接性能
被引量:19
2008年
利用自行研制的真空低温等离子体设备对聚四氟乙烯(Teflon)薄膜材料进行表面处理,并对等离子体处理后Teflon之间粘接性能作了研究,找到了一些实用的工艺;采用静态接触角、SEM和XPS对等离子体处理前后Teflon的表面接触角、时效性、微观结构及表面成分的改变进行了分析。实验结果显示,其表面接触角随处理时间的变化存在一个最佳值,随着处理时间的进一步增加,其亲水性又开始变差。
贾冬义
钟少锋
赵玲利
王守国
关键词:
等离子体
聚四氟乙烯薄膜
表面改性
粘接
常压冷等离子体的产生及在微电子和材料表面改性中的应用
本文是作者对常压射频和常压高频等离子体设备研究和应用工作的一部分。 二氧化硅薄膜的制备是微电子工艺中一项十分重要的技术,针对不同用途的二氧化硅薄膜,各种新的沉积技术不断涌现。而大气压射频低温等离子体增强化学气相...
贾冬义
关键词:
射频
化学气相沉积
二氧化硅
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