王艳华
- 作品数：7 被引量：24H指数：2
- 供职机构：厦门大学物理与机电工程学院机电工程系更多>>
- 发文基金：福建省科技计划重点项目福建省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 微尖的两种制作工艺
- 2004年
- 描述各向异性腐蚀结合键合和各向异性腐蚀结合电镀来制作微尖的方法,利用这两种方法制作出了针尖直径小于25nm的金字塔形微尖,通过实验证明:这是两种有良好可控性和工艺要求不高的制作方法。微尖的成功制作为传感器微型化提供了一种很有潜力的新型检测方式,解决了检测的灵敏度问题。
- 王明亮王艳华郑剑铭孙道恒
- 关键词：各向异性电镀
- 硅尖的制备
- 2003年
- 隧道硅尖的制备是微机械隧道传感器制作的一个重要组成部分 ,通过对ICP刻蚀和湿法各向异性刻蚀工艺制备硅尖实验的研究 。
- 王艳华孙道恒
- 关键词：各向异性刻蚀ICP刻蚀
- 硅尖的制备
- 隧道硅尖的制备是微机械隧道传感器制作的一个重要组成部分,通过对ICP刻蚀和湿法各向异性刻蚀工艺制备硅尖实验的研究,得到了合适的工艺条件以及较理想的硅尖.
- 王艳华孙道恒
- 关键词：各向异性刻蚀微机械刻蚀工艺
- 文献传递
- 硅尖的制备及在传感器技术中的应用被引量：1
- 2003年
- 介绍了硅尖的制备及其在传感器技术中的应用。硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖,故比其它材料微尖更实用。硅尖的应用随着制备工艺的改进与其它相关技术的进步必将得到新的开发。
- 王艳华王明亮孙道恒马海阳
- 关键词：硅尖刻蚀微加工技术传感器
- 光开关中静电驱动的微悬臂梁耦合分析被引量：11
- 2003年
- 采用顺序耦合法 ,对光开关中的、静电驱动的悬臂梁进行分析 ,得出了悬臂梁的动态响应特性 ,并指出了空气阻尼对器件性能的影响 。
- 马海阳王艳华王明亮孙道恒
- 关键词：悬臂梁微机械传感器静电驱动光开关
- 硅尖的制备及应用
- 2003年
- 本文介绍了硅尖的制备及其在不同领域的应用。硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖 ,故比其它材料微尖更实用。
- 王艳华马海阳孙道恒
- 关键词：硅尖刻蚀微加工技术
- MATLAB的VC编程接口浅析被引量：12
- 2003年
- 首先论述了在VisualC + +中调用MATLAB的重要性和优点 ,提出了三种混合编程的方法 ,并以具体实例详细说明了MATLAB的VC编程接口MATLABC (+ + )MathLibrary数学函数库以及Mex文件 ,通过VC中开发环境的设置 ,与MATLAB实现混合编程 ,为软件开发提供了强有力的技术支持。
- 马海阳王艳华孙道恒
- 关键词：MATLABMATHLIBRARYC++动态链接
