杜松杰
- 作品数：10 被引量：5H指数：1
- 供职机构：西北工业大学更多>>
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- 相关领域：电子电信理学交通运输工程一般工业技术更多>>
- MEMS陀螺六阶连续带通多反馈∑△M闭环控制系统（英文）被引量：1
- 2013年
- 设计了一种用于MEMS陀螺敏感模态的六阶连续带通多反馈∑ΔM闭环控制系统,以及相应的系统参数多目标优化方法.与以往的低通∑△M闭环控制系统相比,该系统不仅具有更好的噪声整形特征,能较大程度抑制陀螺噪声,而且易于在PCB电路上实现.由于整个闭环系统非常复杂且非线度较高,采用遗传算法对系统参数进行了多目标优化.系统优化之后的仿真结果显示,当输入角速度为200°/s时,在64 Hz带宽范围内陀螺信号的信噪比可大于90 dB,底噪为-120 dBV/(Hz)^(1/2).最后采用常压封装的z轴全对称解耦结构的绝缘体上硅陀螺在PCB电路上进行了系统功能验证,测试结果显示系统具有明显的带通噪声整形特征,陀螺底噪为-100 dBV/(Hz)^(1/2).
- 陈方苑伟政常洪龙杜松杰
- 关键词：陀螺噪声整形
- 微机械加速度计的5阶连续低通谐振前馈型sigma-delta modulator闭环控制电路
- 本发明公开了一种微机械加速度计的5阶连续低通谐振前馈型sigma-deltamodulator闭环控制电路，属于微机械加速度计加速度信号测量处理领域。电路，由电荷放大器5，高通滤波器6，二极管7，低通滤波器8，全差分放大...
- 苑伟政陈方杜松杰常洪龙谢建兵袁广明
- 微机械加速度计的高阶连续低通sigma-delta闭环控制电路
- 本发明公开了一种分别用于微机械加速度计的高阶连续低通sigma-delta闭环控制电路，属于利用科氏效应的制导或控制装置领域。该电路，由前置全差分电荷放大器2，高通滤波器3，二极管4，低通滤波器5，全差分放大电路6，相位...
- 苑伟政陈方杜松杰常洪龙
- 微机械加速度计的3阶连续低通反馈型sigma-delta闭环控制电路
- 本发明公开了一种用于微机械加速度计的3阶连续低通反馈型sigma-delta modulator（ΣΔΜ）闭环控制电路，属于加速度信号测量处理领域。该电路依次由电荷放大器5，高通滤波器6，二极管7，低通滤波器8，全差分放...
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- 文献传递
- 微机械加速度计的MASH结构sigma-delta闭环控制电路
- 本发明公开了一种微机械加速度计的MASH结构sigma-delta闭环控制电路，属于加速度信号测量处理领域。该电路由电荷放大器5，高通滤波器6，二极管7，低通滤波器8，全差分放大器9，相位补偿电路10，比较器12，D触发...
- 苑伟政杜松杰陈方常洪龙谢建兵
- 文献传递
- 微机械加速度计的5阶连续低通谐振前馈型sigma-delta modulator闭环控制电路
- 本发明公开了一种微机械加速度计的5阶连续低通谐振前馈型sigma-delta modulator闭环控制电路，属于微机械加速度计加速度信号测量处理领域。电路，由电荷放大器5，高通滤波器6，二极管7，低通滤波器8，全差分放...
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- 文献传递
- 微机械加速度计的高阶连续低通sigma-delta闭环控制电路
- 本发明公开了一种分别用于微机械加速度计的高阶连续低通sigma-delta闭环控制电路，属于利用科氏效应的制导或控制装置领域。该电路，由前置全差分电荷放大器2，高通滤波器3，二极管4，低通滤波器5，全差分放大电路6，相位...
- 苑伟政陈方杜松杰常洪龙
- 文献传递
- 基于∑-△M的五阶MFLR数字微加速度计闭环控制系统被引量：1
- 2014年
- 为了进一步抑制加速度计信号带宽范围内的噪声,提出并设计了一种基于∑-△M的五阶多反馈谐振式（MFLR）微机械加速度计闭环控制系统,该系统通过增加额外的内部负反馈对量化噪声进行再一次整形.微机械加速度计结构为一种全差分式结构,在结构层厚度为60 μm、基底层厚度为400μm的SOI硅片上,经过光刻、溅射、深度反应离子刻蚀等工艺步骤加工而成.整个闭环控制系统的Matlab/Simulink模型首先被建立,然后采用“单位圆分析法”进行系统参数的设定,系统仿真显示：当输入幅值1gn、频率128Hz的加速度信号时,加速度计的噪声为-136.2 dB,与传统五阶MF结构的∑-△M闭环控制系统相比,在0 ～500 Hz信号带宽范围内的噪声降低了7.9dB.最后整个系统在四层PCB电路板上进行了功能性验证和测试.
- 杜松杰苑伟政陈方常洪龙
- 关键词：微机械加速度计SIGMA-DELTA闭环控制
- 一种低噪声MEMS加速度计设计与制作被引量：3
- 2014年
- 为了提高微加速度计的噪声性能,研究了一种基于绝缘体上硅(SOI)技术的单轴MEMS加速度计的设计和加工方案。该微加速度计采用大面积质量块的电容式检测结构,通过增加检测质量,在保证灵敏度的前提下,有效地降低了微加速度计的机械布朗噪声,增强了信噪比。另外,该微加速度计采用一种基于Al保护层的MEMS SOI工艺技术制造,有利于提高微加速度计的整体精度水平。测试结果表明:微加速度计的本底噪声为20μgn/√Hz,灵敏度为2.5 V/gn。
- 宋萌常洪龙杜松杰谢建兵李鹏程
- 关键词：微电子机械系统加速度计低噪声高灵敏度绝缘体上硅
- 微机械陀螺检测模态8阶连续带通sigma-delta闭环控制电路
- 本发明公开了一种微机械陀螺检测模态8阶连续带通sigma-delta闭环控制电路，属于利用科氏效应的制导或控制装置领域。该电路由电荷放大器5，高通滤波器6，二极管7，低通滤波器8，全差分放大电路9，相位补偿电路10，谐振...
- 苑伟政陈方常洪龙杜松杰
- 文献传递
