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张继昌
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
同济大学理学院物理系
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相关领域:
电子电信
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合作作者
邬建根
复旦大学物理学系
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硅晶
1篇
硅晶体
1篇
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红外辐射
1篇
红外吸收
1篇
高纯
1篇
氧
1篇
FTIR
机构
3篇
复旦大学
3篇
同济大学
3篇
中国科学院
作者
3篇
邬建根
3篇
张继昌
传媒
2篇
稀有金属
1篇
红外与毫米波...
年份
1篇
1992
2篇
1991
共
3
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高纯真空区熔硅单晶在快速热退火下的红外吸收
1991年
高纯真空区熔硅单晶经离子注入和氮气氛中的快速热退火后,在4.2K的红外吸收谱中观察到1136cm^(-1)的氧特征峰;而类似的样品未经快速热退火,则无此吸收峰。利用硅表面的SiO_2层中氧的恒定表面浓度扩散近似,得到样品中氧的计算值和实验值大致相符。
张继昌
邬建根
马碧兰
屈逢源
朱景兵
关键词:
硅晶体
快速热退火
红外吸收
硅中氧的FTIR研究
1992年
对不同氧含量的硅片在300K到4.2K温度范围进行红外吸收测量表明:低温(80~4.2K)下硅的红外吸收谱中1127cm^(-1)处的吸收是硅中氧的吸收峰.
马碧兰
朱景兵
邬建根
张继昌
周寿通
屈逢源
关键词:
硅
氧
红外辐射
硅中载流子浓度的红外自由载流子吸收测定法
被引量:2
1991年
硅材料和硅器件的许多性质和性能都与载流子浓度有直接依赖关系。测定硅中载流子浓度已发展有许多方法,如四探针法、霍耳系数法,C-V法、光致荧光法、杂质吸收法等等。1958年吴仲墀等人利用室温下10.6μm处自由载流子的吸收系数α测定硅中载流子浓度,作者则采用在500~3500cm-1红外波段内测量的吸收系数α,得到了载流子浓度N。
马碧兰
邬建根
屈逢源
朱景兵
张继昌
关键词:
硅
载流子浓度
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